地球山(苏州)微电子科技有限公司毕学东获国家专利权
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龙图腾网获悉地球山(苏州)微电子科技有限公司申请的专利静电和压电混合驱动的MEMS扬声装置、系统和制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121240017B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511763289.7，技术领域涉及：H04R19/02；该发明授权静电和压电混合驱动的MEMS扬声装置、系统和制备方法是由毕学东设计研发完成，并于2025-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电和压电混合驱动的MEMS扬声装置、系统和制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开静电和压电混合驱动的MEMS扬声装置、系统和制备方法，涉及扬声器技术领域，以解决现有技术中扬声器单一纯静电驱动方式导致的高驱动电压、易发生吸合效应和低频响应不足的问题，以及单一纯压电驱动导致的高频响应差的问题。MEMS扬声装置自下至上包括：基底；形成于基底上的静电驱动单元；静电驱动单元至少包括固定电极和可动振膜；以及，一体化集成于可动振膜上的压电驱动单元；其中，压电驱动单元接受预设大小的直流偏置电压，以控制可动振膜向固定电极的方向产生一个预设的静态位移，且压电驱动单元处理输入的宽频带音频中的中低频信号；静电驱动单元处理宽频带音频中的高频信号。本发明用于提高扬声器的扬声质量并降低功耗。
本发明授权静电和压电混合驱动的MEMS扬声装置、系统和制备方法在权利要求书中公布了：1.静电和压电混合驱动的MEMS扬声装置，其特征在于，所述MEMS扬声装置自下至上包括： 基底； 形成于所述基底上的静电驱动单元；所述静电驱动单元自下至上依次包括固定电极、固定电极绝缘层和可动振膜；所述可动振膜通过柔性悬臂梁结构悬浮于所述固定电极的上方，以形成位于所述可动振膜与所述固定电极之间的静电驱动气隙； 以及，一体化集成于所述可动振膜上的压电驱动单元； 其中，所述压电驱动单元接受预设大小的直流偏置电压，以控制所述可动振膜向所述固定电极的方向产生一个预设的静态位移，且所述压电驱动单元处理输入的宽频带音频中的中低频信号；所述静电驱动单元处理所述宽频带音频中的高频信号。
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