上海大学马逸明获国家专利权
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龙图腾网获悉上海大学申请的专利基于MEMS驱动级联波导耦合器的计算重构光谱仪及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121275150B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511367131.8,技术领域涉及:G01J3/45;该发明授权基于MEMS驱动级联波导耦合器的计算重构光谱仪及方法是由马逸明;王涵兴;刘研;王楠设计研发完成,并于2025-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于MEMS驱动级联波导耦合器的计算重构光谱仪及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了基于MEMS驱动级联波导耦合器的计算重构光谱仪及方法,光谱仪包括器件层1、埋氧层2和硅基底3;硅基底3的上方设置埋氧层2,埋氧层2的上方设置器件层1;器件层1包括叉指梳静电驱动器阵列组和级联波导耦合器;级联波导耦合器包括可动波导组和固定波导;本发明不仅使采样通道数指数级增长,而且实现对采样干涉图的去相关,从而显著提升光谱仪的分辨率;将级联波导耦合器的初始耦合状态均设置为弱耦合状态,利用静电驱动器分别将不同长度的波导耦合器由弱耦合状态调制至完全耦合状态,有效降低了器件功耗。
本发明授权基于MEMS驱动级联波导耦合器的计算重构光谱仪及方法在权利要求书中公布了:1.基于MEMS驱动级联波导耦合器的计算重构光谱仪,其特征在于,包括器件层1、埋氧层2和硅基底3;所述硅基底3的上方设置埋氧层2,所述埋氧层2的上方设置器件层1; 所述器件层1包括叉指梳静电驱动器阵列组和级联波导耦合器; 所述级联波导耦合器包括可动波导组和固定波导,所述级联波导耦合器的级数通过改变可动波导组的可动波导数来调整; 所述叉指梳静电驱动器阵列组的各个叉指梳静电驱动器阵列分别驱动不同的可动波导,所述叉指梳静电驱动器阵列由不同数目的叉指梳静电驱动器横向排布组成,所述叉指梳静电驱动器包括驱动电极1-1、接地端1-2、固定叉指1-3、移动叉指1-4、移动滑座1-5、支撑结构1-6、可动波导1-7和固定波导1-8;所述驱动电极1-1连接固定叉指1-3,所述接地端1-2连接移动叉指1-4,所述移动叉指1-4和固定叉指1-3形成交错梳齿结构,所述移动叉指1-4和移动滑座1-5相连,所述支撑结构1-6、可动波导组1-7和移动滑座1-5相连,所述可动波导1-7和固定波导1-8设置一定的初始间隙使得波导耦合器处于弱耦合状态,所述驱动电极1-1处覆盖一层金作为驱动端。
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