西安稀有金属材料研究院有限公司周波获国家专利权
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龙图腾网获悉西安稀有金属材料研究院有限公司申请的专利金属微探针阵列的电铸成形方法及金属微探针阵列获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121295270B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511865135.9,技术领域涉及:C25D1/00;该发明授权金属微探针阵列的电铸成形方法及金属微探针阵列是由周波;李傲翔;王亭力;雷煜东;谢龙飞;任砾;潘博炜设计研发完成,并于2025-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本金属微探针阵列的电铸成形方法及金属微探针阵列在说明书摘要公布了:本公开提供一种金属微探针阵列及其电铸成形方法,涉及微制造成形技术领域,包括:构建具有微探针型腔的光固化树脂掩膜模型,制备光固化树脂掩膜;将光固化树脂掩膜放入多巴胺混合溶液,在光固化树脂掩膜表面形成自组装聚多巴胺分子层,制得具有表面亲水性的光固化树脂掩膜;通过机械结合的方式将具有表面亲水性的光固化树脂掩膜与金属基底贴合,作为电沉积的组装阴极;将组装阴极作为阴极浸入到电铸液进行真空沸腾电沉积,在微探针阵列金属填满具有表面亲水性的光固化树脂掩膜的型腔时,去除阴极以得到填充后的光固化树脂掩膜;将填充后的光固化树脂掩膜进行高温灰化处理,经超声清洗制得金属微探针阵列。本公开可提高金属微探针阵列的制备效率。
本发明授权金属微探针阵列的电铸成形方法及金属微探针阵列在权利要求书中公布了:1.一种金属微探针阵列的电铸成形方法,其特征在于,包括: 构建具有微探针型腔的光固化树脂掩膜模型,基于所述光固化树脂掩膜模型制备具有微探针型腔的光固化树脂掩膜; 将所述具有微探针型腔的光固化树脂掩膜放入多巴胺混合溶液中进行润湿处理1~2d,在具有微探针型腔的光固化树脂掩膜表面形成自组装聚多巴胺分子层,制得具有表面亲水性的光固化树脂掩膜;所述多巴胺混合溶液包括三羟甲基氨基甲烷、稀盐酸和多巴胺; 通过机械结合的方式将具有表面亲水性的光固化树脂掩膜与金属基底贴合,作为电沉积的组装阴极; 将所述组装阴极作为阴极浸入到电铸液中,将所述电铸液抽真空至预设真空度,加热电铸液至目标温度,在通电条件下进行真空沸腾电沉积,在微探针阵列金属填满具有表面亲水性的光固化树脂掩膜的型腔时,去除所述阴极以得到填充后的光固化树脂掩膜;其中,所述预设真空度为-5~-20psi,所述目标温度为30~55℃;所述真空沸腾电沉积的电流密度为0.01~10Adm2; 将填充后的光固化树脂掩膜进行高温灰化处理,经超声清洗制得金属微探针阵列。
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