电子科技大学张羽获国家专利权
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龙图腾网获悉电子科技大学申请的专利一种基于Pd/WO3-x的ppb级双信号氢气传感器及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121298711B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511864564.4,技术领域涉及:G01N21/78;该发明授权一种基于Pd/WO3-x的ppb级双信号氢气传感器及其制造方法是由张羽;蒋洪川;赵晓辉;邓新武设计研发完成,并于2025-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于Pd/WO3-x的ppb级双信号氢气传感器及其制造方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于PdWO3‑x的ppb级双信号氢气传感器及其制造方法,属于传感器制备技术领域。该传感器由下至上依次包括:单通阳极氧化铝衬底、缺氧型氧化钨WO3‑x氢气敏感层、薄层Pd变色催化层、厚层Pd电阻催化层、电极层;电极层为Ag、Au、Cu、Al中的任意一种。本发明提供的氢气传感器具有高灵敏度、ppb级探测下限,加工难度低,电阻‑色差双信号相互印证,为传感器衬底设计提供了新思路。
本发明授权一种基于Pd/WO3-x的ppb级双信号氢气传感器及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种基于PdWO3-x的ppb级双信号氢气传感器,其特征在于,该传感器由下至上依次包括:单通阳极氧化铝衬底、缺氧型氧化钨WO3-x氢气敏感层、薄层Pd变色催化层、厚层Pd电阻催化层、电极层; 其中,厚层Pd电阻催化层在薄层Pd变色催化层上表面图形化,电极层涂布于厚层Pd电阻催化层上表面两侧及周围部分薄层Pd变色催化层上; 所述缺氧型氧化钨WO3-x氢气敏感层的厚度为200-400nm,所述薄层Pd变色催化层的厚度为10-30Å;所述厚层Pd电阻催化层的厚度≥50nm,所述电极层的厚度≥2μm。
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