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龙图腾网获悉北京精量科技有限公司申请的专利一种低压差气体质量流量控制器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121300561B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511850902.9，技术领域涉及：G05D27/02；该发明授权一种低压差气体质量流量控制器是由司建朝;龚育军;任富;韩星旺;马禄平设计研发完成，并于2025-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种低压差气体质量流量控制器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种低压差气体质量流量控制器，包括气流输入端、气流输出端；核心传感与控制单元，包括压力传感器P1、主层流元件、精密压差传感器、温度传感器、辅助层流元件、压力传感器P2；控制模块包括信号处理模块、SSA优化自适应PID模块和压力‑流量协同控制模块；信号处理模块与各个传感器电连接；SSA优化自适应PID模块，根据流量误差进行反馈控制；压力‑流量协同控制模块，实现压力前馈和流量反馈的协同控制；执行单元，包括压电式比例阀和压电驱动模块。本发明采用主‑辅双层级流元件结构解决了宽量程与高精度的矛盾，在量程范围内均能保持优异精度；SSA优化的自适应PID算法配合高速压电阀，使系统响应时间变快。

本发明授权一种低压差气体质量流量控制器在权利要求书中公布了：1.一种低压差气体质量流量控制器，其特征在于，包括气流输入端、核心传感与控制单元、气流输出端、控制模块和执行单元； 所述气流输入端连接气源；所述气流输出端输出控制后的气体； 所述核心传感与控制单元，包括： 压力传感器P1，检测入口压力，设置在气流输入端下游； 主层流元件，建立主测量通道的层流场，连接在压力传感器P1下游； 精密压差传感器，测量主层流元件的压差，连接在主层流元件两端； 温度传感器，检测气体温度，设置在主层流元件处； 辅助层流元件，并联或串联于主层流元件，用于低流量段的精确测量； 压力传感器P2，检测出口压力，设置在辅助层流元件下游； 控制模块包括信号处理模块、SSA优化自适应PID模块和压力-流量协同控制模块； 信号处理模块与核心传感与控制单元中的各个传感器电连接，用于对传感器信号进行滤波、放大和模数转换；SSA优化自适应PID模块，用于根据流量误差进行反馈控制；压力-流量协同控制模块，用于实现压力前馈和流量反馈的协同控制； 执行单元，包括压电式比例阀和压电驱动模块，压电式比例阀与压电驱动模块连接，用于调节气体流量；压电驱动模块，与控制模块连接，用于将控制信号转换为压电驱动信号； 所述压力-流量协同控制模块中的前馈控制基于压力传感器P1检测到的压力变化，通过逆模型计算前馈控制量，逆模型为“阀门开度-压力-流量”关系模型； 所述压力-流量协同控制模块，是基于压力降与流量的近似正比关系，通过调节阀门开度实现压力与流量的双重控制；采用“前馈控制+反馈控制”协同策略； 前馈控制，根据入口压力变化动态调整阀门开度，抵消压力波动对流量的影响； 反馈控制，通过SSA优化自适应PID模块实时修正流量误差，确保设定值与实际值的偏差最小化； 主层流元件与辅助层流元件根据瞬时流量阈值自动切换，扩展全量程测量范围； 前馈控制基于“阀门开度-压力-流量”关系模型计算补偿量，缩短系统响应时间。

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