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龙图腾网获悉北京锐洁机器人科技有限公司申请的专利一种和AGV小车对接交互的全自动多尺寸晶圆装载平台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121310937B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511812019.0，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权一种和AGV小车对接交互的全自动多尺寸晶圆装载平台是由牛立群;刘冬梅;王强;王勇设计研发完成，并于2025-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种和AGV小车对接交互的全自动多尺寸晶圆装载平台在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种和AGV小车对接交互的全自动多尺寸晶圆装载平台。包括载台、升降式罩体、视觉成像模块及控制系统。本申请通过在升降式罩体内侧底部边缘布置参考标记阵列，结合顶部中心视觉模块采集的晶圆盒图像，利用光线入射‑折射反演模型在线辨识当前环境下的实际折射参数，对采集的晶圆盒图像进行像素级坐标逆向校正，消除由石英玻璃空气多层界面引起的动态成像畸变，并通过区域亮度分析确定晶圆盒位置偏差，结合归正机构对晶圆盒自动执行X‑Y联动平移归正，从而显著提升密封状态下的视觉定位精度与系统鲁棒性。

本发明授权一种和AGV小车对接交互的全自动多尺寸晶圆装载平台在权利要求书中公布了：1.一种和AGV小车对接交互的全自动多尺寸晶圆装载平台，其特征在于，包括： 载台，用于承载晶圆盒； 升降式罩体，可下降至闭合位置以密封所述晶圆盒；所述升降式罩体的底部边缘还设有环形氟橡胶密封圈，用于在下降罩住载台上的晶圆盒时与载台顶面形成气密接触； 视觉成像模块，设置于升降式罩体的内部顶面中心，用于采集晶圆盒的原始图像； 控制系统，用于在升降式罩体闭合状态下，通过视觉成像模块获取晶圆盒的原始图像，结合参考标记阵列和环境温湿度参数，通过光线入射-折射反演模型实时计算当前折射参数，基于构建的逆向映射查找表，对原始图像进行逐像素坐标校正，生成校正图像，对校正图像进行区域灰度分析，识别晶圆盒的轮廓覆盖区域，并计算几何中心相对于预设对位中心的位置偏差量，根据位置偏差量，控制归正机构对晶圆盒执行X-Y双向平移归正，归正完成后，触发锁止机构固定载台； 所述参考标记阵列包括至少四个靶标，所述靶标嵌入在环形氟橡胶密封圈内侧，且与所述晶圆盒的外轮廓在空间上不重叠； 所述光线入射-折射反演模型，包括： 基于斯涅尔定律，构建光线追踪模型； 采用改进的Levenberg-Marquardt算法，以参考标记的实测坐标与标定坐标之差为误差函数，迭代求解当前环境下的折射率与介质厚度参数； 所述逆向映射查找表的构建，包括： 针对每个像素点，根据相机内参矩阵、环境温湿度与实际折射参数，计算其对应的实际物方坐标； 校正图像通过双三次插值算法由原始图像映射生成。

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