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龙图腾网获悉四川上特科技有限公司申请的专利一种晶圆转移装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121310941B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511847193.9，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权一种晶圆转移装置是由冯艾诚;冯永;张正;胡仲波;李健儿设计研发完成，并于2025-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆转移装置在说明书摘要公布了：一种晶圆转移装置，涉及半导体加工领域，包括：工作台，两侧分别为烘干区和暂存区，暂存区沿其长度方向设有多个通孔，且一侧设有支撑架，通孔中设有沿竖向移动的限位环，支撑架中设有存放框；翻转机构，包括转动安装于支撑架中的转动板，转动板侧面沿其长度方向设有多个转动的翻转板，翻转板端面设有半圆形的卡环，用于容纳晶圆，卡环两端均设有沿其圆周移动的限位杆，限位杆端部设有卡板，用于对晶圆限位，应用时，翻转板配合于限位环中；转移机构，包括设于支撑架中，并沿竖向移动的支撑杆，支撑杆上设有多个沿其轴线移动的承载板，用于承接晶圆并转移至存放框中。本装置能自动将晶圆转移至存放框中，避免出现烫伤的同时，也能提高生产效率。

本发明授权一种晶圆转移装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆转移装置，其特征在于，包括： 工作台100，顶面长度方向两侧分别为烘干区和暂存区，暂存区沿其长度方向设有多个间隔布置的通孔101，且一侧设有支撑架102，所述通孔101中设有沿竖直方向移动设置的限位环103，所述支撑架102一端设有沿其长度方向移动设置的存放框104，用于存放晶圆； 翻转机构200，包括转动安装于所述支撑架102中的转动板201，所述转动板201侧面沿其长度方向设有多个翻转板202，所述翻转板202绕自身垂直于所述转动板201的径向转动设置，且端面设有半圆形的卡环203，用于容纳晶圆，所述卡环203两端设有两个对称布置，并沿所述翻转板202圆周相向移动的限位杆204，用于对晶圆侧壁限位，所述限位杆204端部设有卡板205，用于对晶圆端面限位，应用时，所述翻转板202配合于所述限位环103中； 转移机构300，包括设于所述支撑架102中，并沿竖直方向移动设置的支撑杆301，所述支撑杆301上设有多个沿其轴线移动设置的承载板302，所述承载板302呈V形，且顶端设有卡槽303，用于承接所述翻转板202上的晶圆，并转移至所述存放框104中。

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