湖南艾科威半导体装备有限公司徐有根获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南艾科威半导体装备有限公司申请的专利一种能快速降低Loadlock腔氧含量的机柜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121310942B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511850983.2，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权一种能快速降低Loadlock腔氧含量的机柜是由徐有根;田杰成设计研发完成，并于2025-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种能快速降低Loadlock腔氧含量的机柜在说明书摘要公布了：本发明提出了一种能快速降低Loadlock腔氧含量的机柜，涉及半导体技术领域。一种能快速降低Loadlock腔氧含量的机柜，包括柜体、进气管路和排气管路。柜体内设有上料腔，进气管路和排气管路均与上料腔连通。排气管路上串联有排气阀，排气阀包括阀体、开关板和恒压伸缩件。阀体内开设有相互连通的大腔体和小腔体，大腔体与排气管路的进气端连通，小腔体与排气管路的出气端连通。大腔体和小腔体组成阶梯腔室，开关板设置于大腔体内。恒压伸缩件伸入到大腔体内，并与开关板连接。恒压伸缩件能带动开关板移动，并与阶梯腔室的阶梯面密封抵接。本发明能够快速排出空气，在避免出现外部气体进入到上料腔的同时，还能使空气充分排出。
本发明授权一种能快速降低Loadlock腔氧含量的机柜在权利要求书中公布了：1.一种能快速降低Loadlock腔氧含量的机柜，包括柜体、进气管路和排气管路，所述柜体内设有上料腔，所述进气管路和所述排气管路均与所述上料腔连通，其特征在于： 所述排气管路上串联有排气阀，所述排气阀包括阀体、开关板和恒压伸缩件，所述阀体内开设有相互连通的大腔体和小腔体，所述大腔体与所述排气管路的出气端连通，所述小腔体与所述排气管路的进气端连通； 所述大腔体和所述小腔体组成阶梯腔室，所述开关板设置于所述大腔体内，所述恒压伸缩件的伸缩端伸入到所述大腔体内，并与所述开关板连接，所述恒压伸缩件能带动所述开关板移动，并与所述阶梯腔室的阶梯面密封抵接。
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