江苏神州半导体科技股份有限公司潘小刚获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏神州半导体科技股份有限公司申请的专利一种等离子体源预处理装置及反应物检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121334961B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511902503.2，技术领域涉及：H05H1/24；该发明授权一种等离子体源预处理装置及反应物检测方法是由潘小刚;顾小军;束寅志;朱培文设计研发完成，并于2025-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子体源预处理装置及反应物检测方法在说明书摘要公布了：本发明属于等离子体源设备技术领域，具体涉及一种等离子体源预处理装置及反应物检测方法。本发明包括：等离子体源，设有进气口和出气口，进气口通入前驱体和反应气体；颗粒收集罐；真空泵；加热系统；等离子体源包括：环形腔体，两组磁芯，分别设在环形腔体中部外周面上；点火头组件，设在环形腔体一侧，点火头组件内设点火电极，点火电极为圆台状。本发明旨在利用高密度等离子体技术，解决现有等离子体源难以监测反应物是否反应充分，以及反应后相应副产物残留量，实现前驱体高效彻底分解，避免形成黏性副产物以防止前驱体气相凝结，提高泵的MTBF，防止排气管道堵塞或爆裂，消除安全隐患，保护工艺设备并提升环境安全性。
本发明授权一种等离子体源预处理装置及反应物检测方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子体源预处理装置，其特征在于，包括： 等离子体源，设有进气口和出气口，所述进气口用于通入前驱体和反应气体； 颗粒收集罐，包括收集罐进气口和收集罐出气口，所述收集罐进气口与所述出气口连通； 真空泵，其通过排气管与所述收集罐出气口连通； 加热系统，设在所述排气管和所述真空泵外； 所述等离子体源包括：环形腔体，其包括上腔体、下腔体和连接腔体，所述连接腔体用于密封连接所述上腔体和所述下腔体，所述上腔体的上端为所述进气口，所述下腔体的下端为所述出气口，所述环形腔体的内部形成从所述上腔体进入，到两个所述连接腔体分流，再到所述下腔体汇合排出的环形气道； 两组磁芯，分别设在所述环形腔体的中部外周面上； 点火头组件，设在所述环形腔体的一侧，所述点火头组件内设点火电极，所述点火电极为圆台状。
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