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无锡众能光储科技有限公司吴鸣雁获国家专利权

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龙图腾网获悉无锡众能光储科技有限公司申请的专利一种集成光学检测与数据分析的钙钛矿薄膜质量管控系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121384976B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511983871.4,技术领域涉及:G01N21/95;该发明授权一种集成光学检测与数据分析的钙钛矿薄膜质量管控系统是由吴鸣雁;咸浩;孔祥飞设计研发完成,并于2025-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

一种集成光学检测与数据分析的钙钛矿薄膜质量管控系统在说明书摘要公布了:本发明属于半导体材料检测技术领域,涉及一种集成光学检测与数据分析的钙钛矿薄膜质量管控系统,其包括数据采集与预处理模块、动态基准构建模块、缺陷指数计算模块和缺陷分析与调控模块,通过采集钙钛矿薄膜表面的光致发光强度数据和反射率数据,并进行空间像素配准及预处理,构建二维特征空间,利用动态滑动窗口算法拟合出动态基准光强曲线;基于动态基准光强曲线和实测光致发光强度,结合非线性指数映射模型计算每个像素点的缺陷严重度指数;将缺陷严重度指数渲染为缺陷分布热力图,根据缺陷面积占比及分布形态生成生产设备调控指令。本发明利用数据统计规律动态解耦膜厚对光致发光信号的干扰,提升了钙钛矿薄膜缺陷检测的准确率和生产良率。

本发明授权一种集成光学检测与数据分析的钙钛矿薄膜质量管控系统在权利要求书中公布了:1.集成光学检测与数据分析的钙钛矿薄膜质量管控系统,其特征在于,包括以下模块: 数据采集与预处理模块,用于采集钙钛矿薄膜表面的光致发光强度数据和反射率数据,并对所述光致发光强度数据和所述反射率数据进行空间像素配准及预处理,得到光强矩阵和反射率矩阵; 动态基准构建模块,用于构建以反射率数值为横轴、光致发光强度数值为纵轴的二维特征空间,将所述光强矩阵和所述反射率矩阵中的像素点映射至所述二维特征空间,并利用动态滑动窗口算法拟合出随反射率变化的动态基准光强曲线,满足: 为反射率为时的动态基准光强,为平滑函数,为高分位统计函数,为光致发光强度数据,为反射率数据,为统计窗口半径,为局部样本集,为补偿系数,为稳健局部标准差; 缺陷指数计算模块,用于基于所述动态基准光强曲线,计算每个像素点的当前理论基准光强,并结合该像素点的实测光致发光强度,利用非线性指数映射模型计算每个像素点的缺陷严重度指数,满足: 为坐标处的缺陷严重度指数,为灵敏度增益系数,为当前像素点的理论基准光强,为当前像素点的实测光致发光强度,为噪声基底常数,为单向截断函数; 缺陷分析与调控模块,用于将计算得到的缺陷严重度指数渲染为缺陷分布热力图,根据所述缺陷分布热力图中的缺陷面积占比及缺陷分布形态,生成对应的生产设备调控指令以调整生产工艺参数。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人无锡众能光储科技有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市锡山区二泉东路19号集智广场B11楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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