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常州铭赛机器人科技股份有限公司蒋文钰获国家专利权

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龙图腾网获悉常州铭赛机器人科技股份有限公司申请的专利晶圆侧面点胶方法、晶圆点胶机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121423195B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202512005200.7,技术领域涉及:B05C5/02;该发明授权晶圆侧面点胶方法、晶圆点胶机是由蒋文钰;吕东杰;李长峰;黄继明;曲东升;沈鑫;刘枭枭设计研发完成,并于2025-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

晶圆侧面点胶方法、晶圆点胶机在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶圆侧面点胶方法、晶圆点胶机,晶圆点胶机包括晶圆加工载台、视觉模块、点胶装置和运动机构,晶圆侧面点胶方法包括以下步骤:S1.标定晶圆加工载台的旋转中心坐标;S2.将晶圆水平放置在晶圆加工载台上,标定晶圆的圆心坐标和晶圆直径;S3.根据晶圆的圆心坐标、晶圆直径和晶圆加工载台的旋转中心坐标,获得晶圆跟随晶圆加工载台旋转的旋转轨迹;S4.点胶装置的点胶方向呈水平方向并朝向晶圆的侧面,在晶圆旋转时根据晶圆的旋转轨迹实时微调点胶装置点胶位置,从而维持点胶装置的点胶位置和晶圆的外缘之间的间距不变以对晶圆的侧面进行点胶。本发明能够根据晶圆的旋转轨迹来实时调节点胶装置的点胶位置,保证点胶轨迹不出现偏移。

本发明授权晶圆侧面点胶方法、晶圆点胶机在权利要求书中公布了:1.一种晶圆侧面点胶方法,其特征在于,包括以下步骤: S1.标定晶圆加工载台1的旋转中心坐标; S2.将晶圆水平放置在晶圆加工载台1上,标定晶圆6的圆心坐标和晶圆直径; S3.根据晶圆6的圆心坐标、晶圆直径和晶圆加工载台1的旋转中心坐标,获得晶圆6跟随晶圆加工载台1旋转的旋转轨迹; 所述步骤S3中具体包括以下步骤: S31.取晶圆6的外缘上任一点作为待喷胶点,计算该待喷胶点旋转至正对点胶装置3的角度,得到晶圆6的边缘任一点旋转至正对点胶装置3时晶圆加工载台1的旋转角度与晶圆6的外缘位置关系; S32.计算晶圆加工载台1的旋转中心朝向晶圆6的圆心所在射线与晶圆6的边缘的交点一的坐标;根据交点一的位置,根据采样角度,得到晶圆6的边缘的其余交点;根据晶圆6的圆心、晶圆半径和采样角度,得到其余交点的坐标;计算所有交点转动至正对点胶装置时所需的角度,以及所有交点在正对点胶装置3时的坐标,得到晶圆6的下视采样位置; S33.在相邻的交点之间进行侧视采样,确定采样点在晶圆坐标系中的角度,计算每个采样点转动至正对点胶装置3所需的旋转角度,根据下视采样位置转换得到侧视采样位置; S34.根据S33得到的晶圆6的侧视采样位置计算得到晶圆6的待喷胶点在z向上的高度; S4.点胶装置3的点胶方向呈水平方向并朝向晶圆6的侧面,在晶圆旋转时根据晶圆6的旋转轨迹实时微调点胶装置3的点胶位置,从而维持点胶装置3的点胶位置和晶圆6的外缘之间的间距不变以对晶圆的侧面进行点胶。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人常州铭赛机器人科技股份有限公司,其通讯地址为:213100 江苏省常州市武进区常武中路18-98号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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