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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所曲义兴获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利离子束加工的离子束束径调整装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121506828B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610020466.0,技术领域涉及:H01J37/147;该发明授权离子束加工的离子束束径调整装置是由曲义兴;李龙响;程润木;赵苣丞;张学军设计研发完成,并于2026-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。

离子束加工的离子束束径调整装置在说明书摘要公布了:本发明涉及离子束超精密加工技术领域,尤其涉及一种离子束加工的离子束束径调整装置,包括调整主体、石墨底座、石墨盘、盖板和散热结构,调整主体上具有第一中心通孔;石墨底座设置于调整主体的另一端,一个石墨盘安装于石墨底座上,石墨盘上开设有用于离子束穿过的第二中心通孔,第二中心通孔与第一中心通孔连通;盖板盖于石墨底座上;散热结构包括导热环和水冷盘管,导热环设置于调整主体上,导热环的外侧环绕有水冷盘管。本发明通过易更换的石墨盘,适应不同空间频率误差的修形需求;集成高效的散热系统,能够及时将吸收的热量导出,有效抑制热变形性。

本发明授权离子束加工的离子束束径调整装置在权利要求书中公布了:1.一种离子束加工的离子束束径调整装置,用于实现调整离子源出口发出的离子束的束径,其特征在于,包括: 调整主体,所述调整主体的一端与所述离子源出口的法兰连接,所述调整主体上具有供所述离子束穿过的第一中心通孔; 中空的石墨底座,所述石墨底座设置于所述调整主体的另一端; 石墨盘,所述石墨盘安装于所述石墨底座内,所述石墨盘上开设有用于所述离子束穿过的第二中心通孔,所述第二中心通孔与所述第一中心通孔以及所述中空的所述石墨底座连通,所述第二中心通孔的直径小于中空的所述石墨底座的孔径以及所述第一中心通孔的直径,通过所述第二中心通孔限制所述离子束的束径; 中空的盖板,所述盖板盖于所述石墨底座上,并将所述石墨盘压于所述石墨底座内,所述第二中心通孔与中空的所述盖板连通,所述盖板的孔径大于所述第二中心通孔的直径; 散热结构,所述散热结构包括导热环和水冷盘管,所述导热环设置于所述调整主体上,所述导热环的外侧环绕有所述水冷盘管,所述调整主体产生的热量依次经所述导热环和所述水冷盘管传递。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,其通讯地址为:130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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