江西金合新材料有限公司徐欣获国家专利权
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龙图腾网获悉江西金合新材料有限公司申请的专利一种超低铌含量的四氯化铪的制备工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121516905B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610042384.6,技术领域涉及:C01G27/04;该发明授权一种超低铌含量的四氯化铪的制备工艺是由徐欣;傅心涛;谭秋兰;谢建锋;钟月明;邱日安;王越红;郭树军设计研发完成,并于2026-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超低铌含量的四氯化铪的制备工艺在说明书摘要公布了:本发明提供一种超低铌含量的四氯化铪的制备工艺,包括:1将氧化铪原料粉碎、过筛和真空干燥,制备经预处理的氧化铪原料;2制备负载型复合催化剂;3将经预处理的氧化铪原料与负载型复合催化剂按照质量比100:0.5至100:5的比例均匀混合,在氯气的存在下并且在350‑500℃的温度和0.1‑0.3MPa的压力下进行氯化反应,得到氯化反应产物;4将氯化反应产物进行精馏提纯,以产生四氯化铪蒸汽;5将四氯化铪蒸汽冷凝,以得到四氯化铪产品。本发明通过采用特定负载型复合催化剂,使得四氯化铪产品的铌含量低于10ppb且纯度大于等于99.9999%,制备效率提升,能够满足先进半导体制程需求。
本发明授权一种超低铌含量的四氯化铪的制备工艺在权利要求书中公布了:1.一种超低铌含量的四氯化铪的制备工艺,其特征在于,包括以下步骤: 1将纯度大于或等于99.9%,铌含量小于或等于200ppm的氧化铪原料粉碎、过筛和真空干燥,以制备经预处理的氧化铪原料; 2制备负载型复合催化剂; 3将所述经预处理的氧化铪原料与所述负载型复合催化剂按照质量比100:0.5至100:5的比例均匀混合,在氯气的存在下并且在350-500℃的温度和0.1-0.3MPa的压力下进行氯化反应,以得到氯化反应产物; 4将所述氯化反应产物进行精馏提纯,以产生四氯化铪蒸汽; 5将所述四氯化铪蒸汽冷凝,以得到超低铌含量的四氯化铪,其中: 制备负载型复合催化剂的步骤2包括: 将多孔氧化铝载体原料在500-600℃下焙烧3-5h,冷却至室温,以制备经预处理后的多孔氧化铝载体; 将钛酸四丁酯、氧氯化锆和硝酸镧的混合物溶解于无水乙醇中以制备浸渍液,其中所述钛酸四丁酯、氧氯化锆和硝酸镧的混合物基于其总重量为100%计包含40-60%的钛酸四丁酯、20-30%的氧氯化锆和10%-30%的硝酸镧; 将所述经预处理的多孔氧化铝载体浸入所述浸渍液中,在30-50℃下搅拌浸渍8-12h,然后在80-100℃下烘干6-8h,最后在550-650℃下焙烧4-6h,得到所述负载型复合催化剂。
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