北京北方华创微电子装备有限公司赵策策获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利靶盘和离子注入设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224020731U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520550694.X，技术领域涉及：H01J37/317；该实用新型靶盘和离子注入设备是由赵策策;邓晓军;余峰;张衡;董兴建;王晓燕设计研发完成，并于2025-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本靶盘和离子注入设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种靶盘和离子注入设备，所公开的靶盘包括盘体和导电组件；其中，所述盘体用于吸附晶圆，所述盘体包括沿水平方向依次层叠设置的导电基部、绝缘功能层和静电卡盘，所述晶圆吸附于所述静电卡盘背离所述绝缘功能层的一侧；所述导电组件包括导电销和弹性导电支架，所述导电销沿所述水平方向贯穿所述盘体，所述弹性导电支架设于所述导电基部背离所述绝缘功能层的一侧，所述弹性导电支架的第一端与所述导电基部固定，所述弹性导电支架的第二端与所述导电销的第一端固定，所述导电销的第二端凸出于所述盘体的表面。上述方案可以解决相关技术中的离子注入设备的工作效率降低的问题。
本实用新型靶盘和离子注入设备在权利要求书中公布了：1.一种靶盘，其特征在于，包括盘体和导电组件400；其中， 所述盘体用于吸附晶圆A，所述盘体包括沿水平方向依次层叠设置的导电基部100、绝缘功能层200和静电卡盘300，所述晶圆A吸附于所述静电卡盘300背离所述绝缘功能层200的一侧； 所述导电组件400包括导电销410和弹性导电支架420，所述导电销410沿所述水平方向贯穿所述盘体，所述弹性导电支架420设于所述导电基部100背离所述绝缘功能层200的一侧，所述弹性导电支架420的第一端与所述导电基部100固定，所述弹性导电支架420的第二端与所述导电销410的第一端固定，所述导电销410的第二端凸出于所述盘体的表面。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励