中微半导体设备(上海)股份有限公司李琳获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种升降驱动组件和半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224020732U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520618963.1，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种升降驱动组件和半导体工艺设备是由李琳;王许;朱永成;周艳设计研发完成，并于2025-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种升降驱动组件和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种升降驱动组件和半导体工艺设备。升降驱动组件包括固定筒、活动筒、活动架和驱动机构。固定筒连接于反应腔的底部，固定筒上设有贯穿筒壁的第一导向槽；活动筒套接于固定筒，活动筒上设有贯穿筒壁的第二导向槽；活动架用于与下电极连接，活动架上设有驱动轴，驱动轴穿过第一导向槽并嵌入第二导向槽中；驱动机构用于驱动活动筒相对固定筒枢转；通过第二导向槽和第一导向槽的配合将驱动机构的枢转输出转化为活动架的竖直方向移动。本实用新型的升降驱动组件和半导体工艺设备，通过驱动机构驱动活动筒旋转，通过活动筒和固定桶的配合将旋转运动转化为活动架的竖直方向运动，减少驱动机构占用的下电极下方空间。
本实用新型一种升降驱动组件和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种升降驱动组件，其特征在于，所述升降驱动组件安装于半导体工艺设备的反应腔的底部，用于驱动设置于所述反应腔内的下电极沿竖直方向移动，所述升降驱动组件包括： 固定筒，固定连接于所述反应腔的底部，在所述固定筒上设有贯穿筒壁的第一导向槽，所述第一导向槽沿竖直方向设置； 活动筒，套接于所述固定筒，且所述活动筒与所述固定筒同轴安装，所述活动筒上设有贯穿筒壁的第二导向槽，所述第二导向槽具有水平方向分量和竖直方向分量； 活动架，与所述下电极连接，所述活动架上设有驱动轴，所述驱动轴穿过所述第一导向槽并嵌入所述第二导向槽中； 驱动机构，包括输出端，所述输出端活动连接于所述活动筒，以驱动所述活动筒相对所述固定筒枢转，枢转使所述活动架的竖直方向移动。
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