麦斯克电子材料股份有限公司李战国获国家专利权
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龙图腾网获悉麦斯克电子材料股份有限公司申请的专利一种大尺寸外延硅片检测前的预处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224022206U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520546969.2，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种大尺寸外延硅片检测前的预处理装置是由李战国;武钰栋;仝泉;刘丽娟设计研发完成，并于2025-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大尺寸外延硅片检测前的预处理装置在说明书摘要公布了：一种大尺寸外延硅片检测前的预处理装置，包括顺次相连的臭氧发生机、恒温水容器以及喷射装置，恒温水容器为立式罐，恒温水容器的顶部通过排气管线与喷射装置相连，恒温水容器的底部插设有进气总管，进气总管的下端经进气管线与臭氧发生机相连，进气总管的上端位于恒温水容器中并设有呈辐射状分布的多根进气支管，进气支管沿水平方向分布，在任意进气支管上均沿自身纵向设有多个喷气嘴。本实用新型用于提高对于臭氧的加热效果以使外延硅片的钝化过程稳定进行，并满足大规模工业应用的需求。
本实用新型一种大尺寸外延硅片检测前的预处理装置在权利要求书中公布了：1.一种大尺寸外延硅片检测前的预处理装置，包括顺次相连的臭氧发生机、恒温水容器1以及喷射装置，其特征在于：恒温水容器1为立式罐，恒温水容器1的顶部通过排气管线10与喷射装置相连，恒温水容器1的底部插设有进气总管4，进气总管4的下端经进气管线5与臭氧发生机相连，进气总管4的上端位于恒温水容器1中并设有呈辐射状分布的多根进气支管6，进气支管6沿水平方向分布，在任意进气支管6上均沿自身纵向设有多个喷气嘴7。
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