友达光电(昆山)有限公司;友达光电股份有限公司夏凡星获国家专利权
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龙图腾网获悉友达光电(昆山)有限公司;友达光电股份有限公司申请的专利蚀刻装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224022207U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520567965.2，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型蚀刻装置是由夏凡星;杨东;李鸿;李翔宇;蔡照辉设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本蚀刻装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种蚀刻装置，蚀刻装置包含：蚀刻腔室、清洗腔室、多个第一滚轴以及第二滚轴，蚀刻腔室具有第一喷淋区，清洗腔室具有第二喷淋区；多个第一滚轴间隔且平行地设置于蚀刻腔室以及该清洗腔室，各第一滚轴用以将该板状元件由第一喷淋区传送至该第二喷淋区；第二滚轴位于该蚀刻腔室并邻近交接区；于竖直方向上，第二滚轴位于多个第一滚轴上方，第二滚轴与多个第一滚轴具有第一间隙，且第二滚轴为自由滚轴。当板状元件经过交接区时，通过第二滚轴可阻挡板状元件上所残留的至少部分蚀刻液流向清洁腔室，且本实用新型的第二滚轴拆装简单，更换清洁时节省人力时间且不会破坏蚀刻装置内部环境。
本实用新型蚀刻装置在权利要求书中公布了：1.一种蚀刻装置，用于对板状元件进行蚀刻薄化，其特征在于，该蚀刻装置包含： 蚀刻腔室，该蚀刻腔室内具有第一喷淋区，该蚀刻腔室内的第一喷洒组件用于向该第一喷淋区喷洒蚀刻液； 清洗腔室，该清洗腔室与该蚀刻腔室相邻接而具有交接区，该清洗腔室内具有第二喷淋区，该清洗腔室内的第二喷洒组件用于向该第二喷淋区喷洒清洗液； 多个第一滚轴，该多个第一滚轴间隔且平行地设置于该蚀刻腔室以及该清洗腔室，各第一滚轴沿第一方向延伸，该多个第一滚轴用以将该板状元件由该第一喷淋区传送至该第二喷淋区；以及 第二滚轴，该第二滚轴位于该蚀刻腔室并邻近该交接区，该第二滚轴沿该第一方向延伸，于竖直方向上，该第二滚轴位于该多个第一滚轴上方，该第二滚轴与该多个第一滚轴具有第一间隙，且该第二滚轴为自由滚轴。
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