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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置和基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113284821B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110168403.7，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置和基板处理方法是由金子美翔;有田毅彦;坂井隼人设计研发完成，并于2021-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置和基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供基板处理装置和基板处理方法。使用单一的冷机将分别设于多个处理模块的多个温度控制对象部独立地调整为期望的温度。一种基板处理装置，其为处理基板的装置，其中，该基板处理装置具有：多个腔室，其收纳所述基板；多个温度控制对象部，其分别设于所述多个腔室；单一的冷机，其设为共用于所述多个温度控制对象部，供给第1调温介质和第2调温介质；多个流量调整部，其分别与所述多个温度控制对象部连接，且与所述冷机连接，构成为能够调整所述第1调温介质与所述第2调温介质的流量比；以及控制部，其通过控制所述流量调整部而对每个所述温度控制对象部独立地调整温度。

本发明授权基板处理装置和基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其为处理基板的装置，其中， 该基板处理装置具有： 多个腔室，其收纳所述基板； 多个温度控制对象部，其分别设于所述多个腔室； 单一的冷机，其设为共用于所述多个温度控制对象部，供给第1调温介质和第2调温介质； 多个流量调整部，其分别与所述多个温度控制对象部连接，且与所述冷机连接，构成为能够调整所述第1调温介质与所述第2调温介质的流量比；以及 控制部，其通过控制所述流量调整部而对每个所述温度控制对象部独立地调整温度， 其中，所述冷机具有：第1调温介质调整部，其将所述第1调温介质调整为第1温度；以及第2调温介质调整部，其将所述第2调温介质调整为高于所述第1温度的第2温度， 所述第1调温介质调整部包括：第1供给口，其向所述温度控制对象部供给所述第1调温介质；以及第1回收口，其回收对所述温度控制对象部的温度进行了调整后的调温介质， 所述第2调温介质调整部包括：第2供给口，其向所述温度控制对象部供给所述第2调温介质；以及第2回收口，其回收对所述温度控制对象部的温度进行了调整后的调温介质， 其中，该基板处理装置还具有： 第1供给路，其连接所述第1供给口和所述流量调整部； 第1回收路，其连接所述第1回收口和所述流量调整部； 第2供给路，其连接所述第2供给口和所述流量调整部；以及 第2回收路，其连接所述第2回收口和所述流量调整部， 其中，在所述第1调温介质调整部设有俯视时呈多边形的第1供给歧管和俯视时呈多边形的第1回收歧管， 所述第1供给路自所述第1供给口借助所述第1供给歧管分支并与所述多个流量调整部连接， 所述第1回收路自所述第1回收口借助所述第1回收歧管分支并与所述多个流量调整部连接， 所述第2调温介质调整部具有俯视呈多边形的第2供给歧管和俯视呈多边形的第2回收歧管， 所述第2供给路自所述第2供给口借助所述第2供给歧管分支并与所述多个流量调整部连接， 所述第2回收路自所述第2回收口借助所述第2回收歧管分支并与所述多个流量调整部连接， 其中，自所述第1供给歧管分支并与所述多个流量调整部连接的多个所述第1供给路的长度相等， 自所述第1回收歧管分支并与所述多个流量调整部连接的多个所述第1回收路的长度相等， 自所述第2供给歧管分支并与所述多个流量调整部连接的多个所述第2供给路的长度相等， 自所述第2回收歧管分支并与所述多个流量调整部连接的多个所述第2回收路的长度相等。

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