东京毅力科创株式会社鹤田丰久获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利信息处理方法、信息处理装置和计算机可读取的存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113284822B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110180780.2,技术领域涉及:H10P72/00;该发明授权信息处理方法、信息处理装置和计算机可读取的存储介质是由鹤田丰久;保坂理人设计研发完成,并于2021-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本信息处理方法、信息处理装置和计算机可读取的存储介质在说明书摘要公布了:本发明说明对基于基片的表面图像,以高可靠性评价基片的表面的处理状态有效的信息处理方法、信息处理装置和计算机可读取的存储介质。信息处理方法的一个例子可以包括:获取对象基片的表面的变形因子的信息的步骤;获取对象基片的表面图像的步骤;基于表面的变形因子的信息计算补偿因表面的变形导致的图像变化的校正系数的步骤;和使用校正系数校正对象基片的表面图像,生成对象基片的校正图像的步骤。
本发明授权信息处理方法、信息处理装置和计算机可读取的存储介质在权利要求书中公布了:1.一种信息处理方法,其特征在于,包括: 获取对象基片的表面的变形因子的信息的步骤; 获取表面图像的步骤,所述表面图像表示所述对象基片的表面的处理状态; 基于所述表面的变形因子的信息,针对所述表面图像的各像素计算补偿因所述表面的变形导致的图像变化的校正系数的步骤;和 使用所述校正系数校正所述表面图像中各像素的亮度值,生成所述对象基片的校正图像的步骤。
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