东京毅力科创株式会社高山将步获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利静电卡盘的制造方法、静电卡盘以及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113345828B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110202917.X，技术领域涉及：H10P72/72；该发明授权静电卡盘的制造方法、静电卡盘以及基板处理装置是由高山将步设计研发完成，并于2021-02-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电卡盘的制造方法、静电卡盘以及基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供可防止异常放电的静电卡盘的制造方法、静电卡盘以及基板处理装置。提供一种静电卡盘的制造方法，该静电卡盘的制造方法包括：准备已形成有第1孔的第1陶瓷板的工序；准备已形成有第2孔的第2陶瓷板的工序，该第2孔在水平方向上形成于与所述第1孔的位置不同的位置；利用浆料在所述第1陶瓷板或所述第2陶瓷板形成浆料层的工序，该浆料层形成有连接所述第1孔和所述第2孔的流路；使所述第1陶瓷板和所述第2陶瓷板隔着所述浆料层层叠的工序；以及接合隔着所述浆料层层叠起来的所述第1陶瓷板和所述第2陶瓷板的工序。
本发明授权静电卡盘的制造方法、静电卡盘以及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种静电卡盘的制造方法，其中， 该静电卡盘的制造方法包括： 准备已形成有第1孔的第1陶瓷板的工序； 准备已形成有第2孔的第2陶瓷板的工序，该第2孔在水平方向上形成于与所述第1孔的位置不同的位置； 利用浆料在所述第1陶瓷板或所述第2陶瓷板形成浆料层的工序，该浆料层形成有连接所述第1孔和所述第2孔的流路，其中，通过在形成所述浆料层时遮盖用于形成所述流路的部分，来在所述浆料层中形成所述流路； 使所述第1陶瓷板和所述第2陶瓷板隔着所述浆料层层叠的工序；以及 接合隔着所述浆料层层叠起来的所述第1陶瓷板和所述第2陶瓷板的工序， 其中，所述第1陶瓷板和所述第2陶瓷板是烧结体。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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