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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利液处理装置的运转方法和液处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113492072B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110326560.6，技术领域涉及：B05B13/02；该发明授权液处理装置的运转方法和液处理装置是由西畑广;李贤友设计研发完成，并于2021-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本液处理装置的运转方法和液处理装置在说明书摘要公布了：本公开涉及一种液处理装置的运转方法和液处理装置，在使向基板供给处理液来对基板进行处理的液处理装置运转时，可靠且迅速地进行构成装置的流路系统的清洗。实施以下工序：处理工序，利用设置于包括供给路径的流路系统的泵使处理液从处理液供给源向设置有过滤器的所述供给路径的下游侧流通，使处理液从形成所述供给路径的下游端的供给部供给到基板来对该基板进行处理；清洗工序，向所述流路系统供给清洗液来清洗该流路系统；以及供给路径清洗工序，包括在所述清洗工序中，在所述供给路径中的流体的压力损失比所述处理工序中的该压力损失低的清洗用状态下从该供给路径的上游侧向下游侧供给所述清洗液，来清洗该供给路径。

本发明授权液处理装置的运转方法和液处理装置在权利要求书中公布了：1.一种液处理装置的运转方法，其特征在于，包括以下工序： 处理工序，利用设置于包括供给路径的流路系统的泵使处理液从处理液供给源向设置有过滤器的所述供给路径的下游侧流通，使处理液从形成所述供给路径的下游端的供给部供给到基板来对该基板进行处理； 清洗工序，向所述流路系统供给清洗液来清洗该流路系统；以及 供给路径清洗工序，包括在所述清洗工序中，在所述供给路径中的流体的压力损失比所述处理工序中的该压力损失低的清洗用状态下从该供给路径的上游侧向下游侧供给所述清洗液，来清洗该供给路径， 所述清洗工序包括在进行所述处理工序之前进行的异常消除工序中， 所述异常消除工序还包括以下工序： 解除工序，解除所述清洗用状态； 处理液填充工序，在所述解除工序之后进行该处理液填充工序，从所述处理液供给源向所述流路系统供给所述处理液来填充所述处理液；以及 处理液吹扫工序，在所述处理液填充工序之后进行该处理液吹扫工序，利用所述泵使所述处理液以比所述处理工序中的所述处理液的流速低的流速从所述供给路径的上游侧向下游侧流通后从所述供给部排出。

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