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株式会社迪思科大森崇史获国家专利权

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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利对准标记的设定方法和加工装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113496933B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110347211.2,技术领域涉及:H10P72/50;该发明授权对准标记的设定方法和加工装置是由大森崇史设计研发完成,并于2021-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。

对准标记的设定方法和加工装置在说明书摘要公布了:本发明提供对准标记的设定方法和加工装置,对所指定的标记自动地调整范围来设定对准标记。该对准标记的设定方法具有如下步骤:拍摄步骤,拍摄形成在晶片的正面侧的1个以上的标记;信息获取步骤,针对所拍摄的1个以上的标记,获取构成1个以上的标记的各自的外接矩形的信息;框线调整步骤,根据已指定了1个标记或多个标记的情况,使1个标记或多个标记整体的外接矩形的中心向四边形的框线的中心移动,按照将外接矩形收纳在框线内并将外接矩形与框线的间隔调整为预先确定的距离的方式自动调整框线相对于外接矩形的位置和大小;以及登记步骤,将大小已被调整的框线的内侧的包含1个标记或多个标记的区域作为对准标记而登记在加工装置中。

本发明授权对准标记的设定方法和加工装置在权利要求书中公布了:1.一种对准标记的设定方法,在对正面侧形成有多个标记的晶片进行加工的加工装置中,将包含操作员所指定的1个以上的标记的区域设定为对准标记,其特征在于, 该对准标记的设定方法具有如下的步骤: 拍摄步骤,由拍摄单元对形成在该晶片上的该1个以上的标记进行拍摄; 信息获取步骤,针对通过该拍摄步骤而拍摄的该1个以上的标记,获取构成该1个以上的标记的各自的外接矩形的信息; 框线调整步骤,在该信息获取步骤之后,根据已指定了该1个以上的标记中的1个标记或多个标记的情况,使该1个标记或该多个标记整体的该外接矩形的中心向在该加工装置中要设定为对准标记时所使用的四边形的框线的中心移动,按照将该外接矩形收纳在该框线内并将该外接矩形与该框线的间隔调整为预先确定的距离的方式自动调整该框线相对于该外接矩形的位置和大小;以及 登记步骤,将大小已被调整的该框线的内侧的包含该1个标记或该多个标记的区域作为对准标记而登记在该加工装置中。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社迪思科,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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