北京北方华创微电子装备有限公司刘俊义获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备及抓取装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113990796B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111249498.1，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权半导体工艺设备及抓取装置是由刘俊义;王锐廷设计研发完成，并于2021-10-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺设备及抓取装置在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种半导体工艺设备及其抓取装置。该抓取装置与半导体工艺设备的驱动装置连接，用于抓取及传输晶圆，其包括：壳体、驱动机构及多个卡合件；壳体用于与半导体工艺设备中的驱动装置连接，用于在驱动装置的驱动下移动；多个卡合件与壳体连接，并且沿壳体的周向间隔分布，驱动机构用于选择性地同时驱动各卡合件转动，以卡紧或释放晶圆的边缘。本申请实施例实现了在实际抓取晶圆的过程中，能够使晶圆与多个卡合件以及壳体之间均同心设置，从而避免晶圆与抓取装置偏移而造成晶圆抓取失败，或者抓取成功后由于晶圆偏移而造成晶圆脱落及碎片，从而确保取片的稳定性和成功率，进而提高晶圆传输效率及晶圆的良率。
本发明授权半导体工艺设备及抓取装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备的抓取装置，与半导体工艺设备的驱动装置连接，用于抓取及传输晶圆，其特征在于，包括：壳体、驱动机构及多个卡合件；所述壳体用于与所述半导体工艺设备中的驱动装置连接，用于在所述驱动装置的驱动下移动；多个所述卡合件与所述壳体连接，并且沿所述壳体的周向间隔分布，所述驱动机构用于选择性地同时驱动各所述卡合件转动，以卡紧或释放所述晶圆的边缘， 所述卡合件包括转轴和偏心轴，所述转轴可转动地设置于所述壳体上，所述偏心轴固定在所述转轴上； 所述偏心轴包括夹持柱和承载板；所述夹持柱一端与所述转轴连接，并且所述夹持柱的部分周壁与所述转轴部分周壁对齐设置，另一端与所述承载板连接；所述承载板的外径大于所述夹持柱的外径，并且所述承载板的部分周缘与所述夹持柱的部分周壁对齐设置； 所述夹持柱为圆柱形结构，所述承载板为圆板形结构。
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