东京毅力科创株式会社堀内友德获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利输送装置和输送方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114171446B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111031909.X,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权输送装置和输送方法是由堀内友德;李东伟设计研发完成,并于2021-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本输送装置和输送方法在说明书摘要公布了:本发明涉及输送装置和输送方法。在同时输送多个基板的输送装置中适当地对在该输送装置保持的基板进行检测。输送装置以在俯视时重叠的方式保持并输送第1基板和第2基板,该输送装置包括:第1保持臂,在水平方向上保持第1基板;第2保持臂,在水平方向上保持第2基板;第1检测传感器,检测在第1保持臂保持的第1基板的有无;以及第2检测传感器,检测在第2保持臂保持的第2基板的有无,至少第1检测传感器由以下传感器构成:将第2保持臂作为基准面而照射光束,检测来自该基准面的扩散反射光和来自基板的扩散反射光的受光位置的不同,从而检测第1基板的有无,在至少第1保持臂的顶端部的内端形成供向第2保持臂照射的光束穿过的缺口。
本发明授权输送装置和输送方法在权利要求书中公布了:1.一种输送装置,其以在俯视时第1基板和第2基板重叠的方式保持并输送所述第1基板和所述第2基板,其中, 该输送装置包括: 第1保持臂,其在水平方向上保持所述第1基板; 第2保持臂,其在水平方向上保持所述第2基板; 第1检测传感器,其检测在所述第1保持臂保持的所述第1基板的有无;以及 第2检测传感器,其检测在所述第2保持臂保持的所述第2基板的有无, 至少所述第1检测传感器由以下传感器构成:该传感器将所述第2保持臂作为基准面而照射光束,检测来自该基准面的扩散反射光和来自基板的扩散反射光的受光位置的不同,从而检测所述第1基板的有无, 在至少所述第1保持臂的顶端部的内端形成供向所述第2保持臂照射的所述光束穿过的缺口, 其中,从所述第1检测传感器照射来的所述光束相对于水平方向的倾斜角度设定为能够利用受光部接收来自所述基准面的扩散反射光且不会利用所述受光部接收来自所述第1基板的正反射光的角度, 所述第1检测传感器和所述第2检测传感器被设置在所述第1保持臂的竖直方向上的第一侧上,所述第2保持臂被设置在所述第1保持臂的竖直方向上的与所述第一侧相对的第二侧上,所述第2检测传感器将构成输送装置的壳体的内壁面作为基准面而照射光束,检测所述第2基板的有无。
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