ASML控股股份有限公司;ASML荷兰有限公司A·E·A·科伦获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉ASML控股股份有限公司;ASML荷兰有限公司申请的专利用于过滤图像的方法和相关联的量测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114667446B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080065378.3，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权用于过滤图像的方法和相关联的量测设备是由A·E·A·科伦;J·克鲁泽;N·梅塔;帕特里克·华纳;V·T·滕纳;P·A·J·廷尼曼斯;H·克拉莫设计研发完成，并于2020-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于过滤图像的方法和相关联的量测设备在说明书摘要公布了：披露了一种用于在衬底的包括目标结构的至少一部分的区域上进行量测测量的方法。所述方法包括：接收表示由所述区域所散射的辐射的一部分的辐射信息；以及在傅里叶域中使用滤波器以用于移除或抑制所接收的辐射信息的、与已由所述目标结构散射的辐射不相关的至少一部分，以用于获得用于所述量测测量的经滤波的辐射信息，其中所述滤波器的特性基于与所述目标结构相关的目标信息。
本发明授权用于过滤图像的方法和相关联的量测设备在权利要求书中公布了：1.一种用于在衬底的包括目标结构的至少一部分的区域上进行量测测量的方法，所述方法包括 -在图像平面处接收表示由所述区域所散射的所述目标结构和非目标结构暗场衍射辐射的至少一部分的辐射信息， -在光瞳平面或傅里叶域中转换所接收的辐射信息，-在所述光瞳平面或傅里叶域中使用滤波器以移除或抑制所接收的辐射信息的、与已由所述目标结构散射的辐射不相关的至少一部分，来获得用于所述量测测量的经滤波的辐射信息， 其中，所述滤波器的特性基于与所述目标结构相关的目标信息， -将经滤波的辐射信息转换成图像数据，以及 -使用所述图像数据以调节半导体过程的关注的参数。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML控股股份有限公司;ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励