北京北方华创微电子装备有限公司孙国峰获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利晶圆的传输方法、装置及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695220B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210335242.0，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权晶圆的传输方法、装置及半导体工艺设备是由孙国峰设计研发完成，并于2022-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆的传输方法、装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆的传输方法、装置及半导体工艺设备，方法包括：获取配置文件，配置文件中记录有站点标识、从站点拾取晶圆所能够使用的第一手指集合和向站点放置晶圆所能够使用的第二手指集合；确定晶圆的传输场景，传输场景包括至少一个传输步骤、每个传输步骤所对应的目标站点的第一当前状态以及机械手的手指的第二当前状态，第一当前状态和第二当前状态均包括持有晶圆状态或未持有晶圆状态；基于配置文件和传输场景，确定每个传输步骤中目标站点所使用的目标手指，目标手指为目标站点所对应的第一手指集合或第二手指集合中的手指；通过与目标站点对应的目标手指进行晶圆传输。本实施例实现了对传输晶圆的手指的选择。
本发明授权晶圆的传输方法、装置及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的传输方法，应用于半导体工艺设备中，其特征在于，包括： 获取预先设置的配置文件，其中所述配置文件中记录有站点的站点标识、从所述站点拾取晶圆所能够使用的第一手指集合和向所述站点放置晶圆所能够使用的第二手指集合； 确定晶圆的传输场景，所述传输场景包括至少一个传输步骤、每个所述传输步骤所对应的目标站点的第一当前状态以及机械手的手指的第二当前状态，所述第一当前状态和第二当前状态均包括持有晶圆状态或未持有晶圆状态； 基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，其中所述目标手指为所述目标站点所对应的第一手指集合或第二手指集合中的手指； 针对所述目标站点，通过与所述目标站点对应的目标手指进行晶圆传输。
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