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中山大学李朝晖获国家专利权

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龙图腾网获悉中山大学申请的专利一种高效率片上声光偏转器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114859578B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210228162.5,技术领域涉及:G02F1/11;该发明授权一种高效率片上声光偏转器及其制备方法是由李朝晖;杨志强设计研发完成,并于2022-03-08向国家知识产权局提交的专利申请。

一种高效率片上声光偏转器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及片上集成光子学技术领域,更具体地,涉及一种高效率片上声光偏转器及其制备方法。包括设置在氧化硅基片上的铌酸锂‑氮化硅异质结构,铌酸锂‑氮化硅异质结构包括铌酸锂薄膜以及氮化硅形成的多模式耦合器结构。所述铌酸锂薄膜上设置可激发声波的叉指换能器。本发明中利用到了铌酸锂的压电特性和声致光栅衍射效应,集成叉指换能器和光子波导中的多模式耦合器原理,光子经过声波形成的周期性结构产生布拉格衍射最终实现偏转。上述声光偏转器减小了片上声光偏转器的尺寸,增强了声子和光子的相互作用,提高了效率,所用到的铌酸锂和氮化硅材料性质稳定,易于加工,并可实现片上大规模集成。

本发明授权一种高效率片上声光偏转器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种高效率片上声光偏转器,其特征在于,包括设置在氧化硅基片上的铌酸锂-氮化硅异质结构;所述的铌酸锂-氮化硅异质结构包括铌酸锂薄膜以及铌酸锂薄膜上集成的以氮化硅结构形成的光子多模式耦合器2;所述铌酸锂薄膜上设有可激发声波的叉指换能器4,所述叉指换能器4包括若干个叉指电极;所述的铌酸锂-氮化硅异质结构包括输入直波导1、多模式耦合器2、两根锥形输出波导3;所述的输入直波导1、锥形输出波导3均与多模式耦合器2连接;所述的多模式耦合器2为多边形结构;所述的多模式耦合器2的偏转光出射面与光波波矢方向垂直;所述叉指换能器置于多模式耦合器的侧面。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中山大学,其通讯地址为:510275 广东省广州市海珠区新港西路135号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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