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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体清洗设备及其混液装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114893595B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210550832.5，技术领域涉及：F16K17/02；该发明授权半导体清洗设备及其混液装置是由赵益春;韩国清设计研发完成，并于2022-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体清洗设备及其混液装置在说明书摘要公布了：本发明公开一种半导体清洗设备及其混液装置，所公开的混液装置，包括暂存容器、第一液体输入管路、混液容器、泄压机构和驱动气体管路，其中：所述第一液体输入管路的液体输出端与所述暂存容器连通，所述暂存容器的出液部与所述混液容器连通，所述驱动气体管路的输气端与所述暂存容器连通，以用于向所述暂存容器输入驱使所述暂存容器内的第一液体流向所述混液容器的驱动气体，所述泄压机构连接于所述暂存容器，且与所述暂存容器的内腔连通，在所述暂存容器内气体的实际压力大于第一预设压力值的情况下，所述泄压机构处于泄放气体状态。上述方案可以解决由于暂存容器内的实际压力高出工作压力较大时，容易导致暂存容器发生损坏的问题。

本发明授权半导体清洗设备及其混液装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体清洗设备的混液装置，其特征在于，包括暂存容器、第一液体输入管路、混液容器、泄压机构、驱动气体管路和启动压力调节机构，其中： 所述第一液体输入管路的液体输出端与所述暂存容器连通，所述暂存容器的出液部与所述混液容器连通，所述驱动气体管路的输气端与所述暂存容器连通，以用于向所述暂存容器输入驱使所述暂存容器内的第一液体流向所述混液容器的驱动气体，所述泄压机构连接于所述暂存容器，且与所述暂存容器的内腔连通，在所述暂存容器内气体的实际压力大于第一预设压力值的情况下，所述泄压机构处于泄放气体状态； 所述泄压机构包括第二泄压管路和泄压阀PRV01，所述第二泄压管路的第一端与所述暂存容器连通，所述第二泄压管路的第二端为第二泄压端，所述泄压阀PRV01设于所述泄压管路，用以控制所述泄压管路的通断； 所述启动压力调节机构包括调压管路和第一减压阀PRG03，所述调压管路的第一端与所述驱动气体管路连通，所述第一减压阀PRG03设于所述调压管路，所述调压管路的第二端与所述泄压阀PRV01的调压内腔连通，以用于调节所述泄压阀PRV01的启动压力。

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