北京晨晶电子有限公司刘旭强获国家专利权
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龙图腾网获悉北京晨晶电子有限公司申请的专利一种电容薄膜压力传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115541069B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211321019.7,技术领域涉及:G06F3/01;该发明授权一种电容薄膜压力传感器是由刘旭强;林立男;廖兴才;曹文静;陶硕;姜浩延;孙润吉;潘雨默设计研发完成,并于2022-10-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电容薄膜压力传感器在说明书摘要公布了:本发明提供一种电容薄膜压力传感器,涉及压力传感器技术领域。本发明提供的电容薄膜压力传感器包括壳体、非金属固定电极、电极组件和非金属薄膜。非金属薄膜位于非金属固定电极朝向连接口的一侧。非金属固定电极朝向连接口的一侧设置有第一金属连接层。非金属薄膜通过第一金属连接层与非金属固定电极连接。本发明实施例提供的电容薄膜压力传感器,通过第一金属连接层将非金属薄膜与非金属固定电极连接。由于非金属固定电极与壳体绝缘,而非金属薄膜不与壳体连接,非金属固定电极与壳体之间的寄生电容减少,电容薄膜压力传感器测量精度受外界环境的影响减少。
本发明授权一种电容薄膜压力传感器在权利要求书中公布了:1.一种电容薄膜压力传感器,其特征在于,包括: 壳体,内部形成有空腔,所述壳体形成有与所述空腔连通的连接口; 非金属固定电极,设置于所述空腔内并与所述壳体连接; 电极组件,设置于所述非金属固定电极; 非金属薄膜,位于所述非金属固定电极朝向所述连接口的一侧,所述非金属固定电极朝向所述连接口的一侧设置有第一金属连接层,所述非金属薄膜通过所述第一金属连接层与所述非金属固定电极连接;所述非金属薄膜将所述空腔分隔为参考腔和工艺腔,所述参考腔位于所述非金属薄膜背离所述连接口的一侧,所述工艺腔位于所述非金属薄膜朝向所述连接口的一侧;所述非金属薄膜朝向所述非金属固定电极的一侧设置有金属层,所述金属层通过所述第一金属连接层与所述电极组件电连接; 电极组件包括第一电极、第二电极、第三电极和三个接线柱;所述第一电极位于所述非金属固定电极朝向连接口一侧的子电极形成第一子电极,所述第一电极位于所述非金属固定电极背离连接口一侧的子电极形成第二子电极;第二电极位于所述非金属固定电极朝向连接口一侧的子电极形成第三子电极,第二电极位于所述非金属固定电极背离连接口一侧的子电极形成第四子电极;第三电极位于所述非金属固定电极朝向连接口一侧的子电极形成第五子电极,第三电极位于所述非金属固定电极背离连接口一侧的子电极形成第六子电极; 所述第三子电极和所述第五子电极呈环形,所述第一子电极位于所述第三子电极内部,所述第五子电极位于所述第三子电极外周;所述第二子电极、所述第四子电极和所述第六子电极分别与三个所述接线柱一一对应,所述接线柱设置于所述壳体且与所述壳体之间不导通。
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