东京毅力科创株式会社熊谷义纪获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利部件的预热处理方法和基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115621158B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210793940.5，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权部件的预热处理方法和基板处理装置是由熊谷义纪;武部一宏;佐藤吉宏设计研发完成，并于2022-07-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本部件的预热处理方法和基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种部件的预热处理方法和基板处理装置，能够将配置于载物台的部件适当地进行预热来提高针对基板的处理的均匀性。在部件的预热处理方法中，将能够与基板处理装置的用于载置基板的载物台接触且能够相对于该载物台相对移动的部件进行预热。部件的预热处理方法包括以下工序：将部件定位于与载物台不接触的预热位置，通过来自载物台的辐射热来将部件进行预热；以及使在将部件进行预热的工序中预热后的部件与载物台接触。由此，能够将部件适当地进行预热来提高针对基板的处理的均匀性。
本发明授权部件的预热处理方法和基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种部件的预热处理方法，所述部件能够与基板处理装置的用于载置基板的载物台接触且能够相对于该载物台相对移动，所述部件的预热处理方法的特征在于，包括以下工序： 将作为所述部件的框构件定位于与所述载物台不接触的预热位置，通过来自所述载物台的辐射热来将所述框构件进行预热；以及 使在将所述框构件进行预热的工序中预热后的所述框构件以不与所述基板接触的状态与所述载物台接触。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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