北京北方华创微电子装备有限公司刘思源获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种工艺步骤终点检测方法和半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115642102B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211398379.7，技术领域涉及：H10P74/00；该发明授权一种工艺步骤终点检测方法和半导体工艺设备是由刘思源;张园园设计研发完成，并于2022-11-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种工艺步骤终点检测方法和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明实施例提供了一种工艺步骤终点检测方法和半导体工艺设备，该方法包括：在执行工艺步骤的过程中，获取针对所述工艺步骤的已执行工艺时间和期望工艺时间；根据所述期望工艺时间和所述已执行工艺时间，计算所述工艺步骤的延时终检时间；根据所述延时终检时间，触发第一计时监测器启动计时监测，并在所述第一计时监测器的计时时间达到所述延时终检时间时，触发针对所述工艺步骤的跳步处理。可以根据用户设置的期望工艺时间，实现工艺步骤终点时间的灵活变动，确保工艺步骤实际执行时间满足用户期望工艺时间；当计时监测器的计时时间达到延时终检时间时，可自动执行跳步，无需人工触发手动终检的按钮，更加自动化。
本发明授权一种工艺步骤终点检测方法和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种工艺步骤终点检测方法，其特征在于，包括： 在执行工艺步骤的过程中，获取针对所述工艺步骤的已执行工艺时间和期望工艺时间； 根据所述期望工艺时间和所述已执行工艺时间，计算所述工艺步骤的延时终检时间； 根据所述延时终检时间，触发第一计时监测器启动计时监测，并在所述第一计时监测器的计时时间达到所述延时终检时间时，触发针对所述工艺步骤的跳步处理; 所述根据所述期望工艺时间和所述已执行工艺时间，计算所述工艺步骤的延时终检时间，包括： 将所述期望工艺时间减去所述已执行工艺时间，得到所述延时终检时间。
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