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龙图腾网获悉卡尔蔡司显微镜有限责任公司申请的专利粒子束装置、操作粒子束装置的方法以及计算机程序产品获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115732296B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211047172.5，技术领域涉及：H01J37/09；该发明授权粒子束装置、操作粒子束装置的方法以及计算机程序产品是由B.加姆;E.埃瑟斯设计研发完成，并于2022-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本粒子束装置、操作粒子束装置的方法以及计算机程序产品在说明书摘要公布了：本发明涉及一种粒子束装置1，该粒子束装置具有粒子源11、提取孔阑13、阳极孔阑14和束管23。该粒子束装置1的驱动器系统被配置为向该提取孔阑13施加提取孔阑电势φExt，向该阳极孔阑14施加能够以可变方式设置的阳极孔阑电势φA，并且向该束管23施加束管电势φL。该粒子束装置1的控制器被配置为控制该驱动器系统，使得该提取孔阑13与该阳极孔阑14之间的电压能够以可变方式来设置，因此穿过该阳极孔阑14的孔径14'的该粒子束3的电流强度能够以可变方式来设置。

本发明授权粒子束装置、操作粒子束装置的方法以及计算机程序产品在权利要求书中公布了：1.一种粒子束装置1，包括： 粒子源11，该粒子源用于提供带电粒子； 提取孔阑13，该提取孔阑具有孔径13'； 驱动器系统62，该驱动器系统被配置为向该提取孔阑13施加提取孔阑电势φExt，从而由这些带电粒子形成穿过该提取孔阑13的孔径13'的粒子束3； 阳极孔阑14，该阳极孔阑布置在该提取孔阑13下游并且具有孔径14'，该粒子束3在操作期间被引导到该孔径上； 其中，该驱动器系统62还被配置为向该阳极孔阑14施加能够以可变方式设置并且不同于该提取孔阑电势φExt的阳极孔阑电势φA；束管23，该束管布置在该阳极孔阑14下游并且具有入口孔径23'，该粒子束3在操作期间通过该入口孔径进入该束管23； 其中，该驱动器系统62还被配置为向该束管23施加不同于该阳极孔阑电势φA的束管电势φL； 控制器61，该控制器被配置为控制该驱动器系统62，使得该提取孔阑13与该阳极孔阑14之间的电压能够以可变方式来设置； 其中，该提取孔阑13的孔径13'与该阳极孔阑14的孔径14'彼此相匹配，使得穿过该阳极孔阑14的孔径14'的该粒子束3的电流强度能够通过改变该提取孔阑13与该阳极孔阑14之间的该电压以可变方式来设置。

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