科磊股份有限公司S·巴塔查里亚获国家专利权
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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利扫描电子显微镜图像锚定阵列的设计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115769255B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180045443.0，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权扫描电子显微镜图像锚定阵列的设计是由S·巴塔查里亚;S·埃斯本斯哈德设计研发完成，并于2021-08-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本扫描电子显微镜图像锚定阵列的设计在说明书摘要公布了：本发明公开一种扫描电子显微镜，其从光学检验系统接收晶片的结果文件。所述结果文件包含所述晶片上的锚定点。使用所述扫描电子显微镜产生所述晶片上的所述锚定点处的缺陷检查图像。将设计片段对准到所述锚定点处的所述缺陷检查图像，从而产生经对准缺陷检查图像。使用所述经对准缺陷检查图像进行缺陷检测。
本发明授权扫描电子显微镜图像锚定阵列的设计在权利要求书中公布了：1.一种检查方法，其包括： 使用光学检验系统确定用于由扫描电子显微镜工具执行对准的锚定点； 在所述扫描电子显微镜工具处从所述光学检验系统接收晶片的结果文件，其中所述结果文件包含所述锚定点、所述晶片上的缺陷位置，以及所述缺陷位置处的缺陷分类； 使用所述扫描电子显微镜工具产生所述锚定点处的缺陷检查图像； 将设计片段对准到所述锚定点处的所述缺陷检查图像，从而产生经对准缺陷检查图像，其中所述设计片段包括所述晶片上的区域；及 在所述经对准缺陷检查图像中检测缺陷，且 其中所述光学检验系统产生像素对设计对准图像块，且从所述像素对设计对准图像块选择所述锚定点。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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