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龙图腾网获悉浜松光子学株式会社申请的专利激光加工装置、激光加工方法、及半导体构件的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115916449B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180049460.1，技术领域涉及：H10P54/20；该发明授权激光加工装置、激光加工方法、及半导体构件的制造方法是由坂本刚志设计研发完成，并于2021-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本激光加工装置、激光加工方法、及半导体构件的制造方法在说明书摘要公布了：本发明的激光加工装置具备：光源，其输出激光；空间光调制器，其用于将从所述光源输出的所述激光根据调制图案调制并输出；聚光透镜，其用于将从所述空间光调制器输出的所述激光聚光于对象物而在所述对象物形成聚光斑；移动部，其用于使所述聚光斑相对于所述对象物相对移动；以及控制部，其通过至少控制所述空间光调制器及所述移动部，实施：第1形成处理，将与所述对象物的所述激光的入射面交叉的Z方向上的所述聚光斑的位置设定于第1Z位置，并且沿着在沿着所述入射面的X方向上延伸的线使所述聚光斑相对移动，从而在所述对象物形成第1改性区域及从所述第1改性区域延伸的第1龟裂。

本发明授权激光加工装置、激光加工方法、及半导体构件的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种激光加工装置，其中， 具备： 光源，其输出激光； 空间光调制器，其用于将从所述光源输出的所述激光根据调制图案调制并输出； 聚光透镜，其用于将从所述空间光调制器输出的所述激光聚光于对象物而在所述对象物形成聚光斑； 移动部，其用于使所述聚光斑相对于所述对象物相对移动；以及 控制部，其通过至少控制所述空间光调制器及所述移动部，实施第1形成处理与第2形成处理，在所述第1形成处理中，将与所述对象物的所述激光的入射面交叉的Z方向上的所述聚光斑的位置设定于第1Z位置，并且沿着在沿着所述入射面的X方向上延伸的线使所述聚光斑相对移动，从而在所述对象物形成第1改性区域及从所述第1改性区域延伸的第1龟裂，在所述第2形成处理中，将所述Z方向上的所述聚光斑的位置设定于比所述第1Z位置更靠所述入射面侧的第2Z位置，并且沿着所述线使所述聚光斑相对移动，从而形成第2改性区域及从所述第2改性区域延伸的第2龟裂， 在所述第1形成处理中，所述控制部，将沿着所述入射面并且与所述X方向交叉的Y方向上的所述聚光斑的位置设定于第1Y位置， 在所述第2形成处理中，所述控制部，将所述Y方向上的所述聚光斑的位置设定于从所述第1Y位置移位了的第2Y位置，并且通过控制显示在所述空间光调制器的所述调制图案，以使在包含所述Y方向及所述Z方向的YZ面内的所述聚光斑的光束形状成为至少在比所述聚光斑的中心更靠所述入射面侧向所述移位方向倾斜的倾斜形状的方式，调制所述激光，从而以在所述YZ面内向所述移位方向倾斜的方式形成所述第2龟裂。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浜松光子学株式会社，其通讯地址为：日本静冈县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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