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龙图腾网获悉爱德华兹有限公司申请的专利模块化前级管道系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115956161B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180049913.0，技术领域涉及：F04B37/02；该发明授权模块化前级管道系统是由C·M·贝利;M·A·加尔特里设计研发完成，并于2021-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本模块化前级管道系统在说明书摘要公布了：一种用于形成前级管道112的零件套件，该前级管道用于将处理腔室108联接到真空泵送和或减排系统110，该套件包括：多个前级管道段122、124；其中，每个前级管道段122、124是包括以下各者的管子：基本上笔直的第一端部分122a、124a；基本上笔直的第二端部分122b、124b，其与第一端部分122a、124a相对；以及中间部分122c、124c，其设置在第一和第二端部分122a‑b、124a‑b之间并且通过相应的弯头122d‑e、124d‑e连接到第一和第二端部分122a‑b、124a‑b，第一和第二端部分122a‑b、124a‑b基本上彼此平行；中间部分122c、124c相对于第一和第二端部分122a‑b、124a‑b倾斜；并且前级管道段122、124被构造成附接在一起以便形成连续的前级管道112。

本发明授权模块化前级管道系统在权利要求书中公布了：1.一种用于形成前级管道的零件套件，所述前级管道用于将处理腔室联接到真空泵送和或减排系统，所述零件套件包括： 多个前级管道段；其中， 每个前级管道段是包括以下各者的管子： 基本上笔直的第一端部分； 基本上笔直的第二端部分，其与所述第一端部分相对；以及 中间部分，其设置在所述第一端部分和所述第二端部分之间并且通过相应的弯头连接到所述第一端部分和所述第二端部分； 所述第一端部分和所述第二端部分基本上彼此平行； 所述中间部分相对于所述第一端部分和所述第二端部分倾斜；并且 所述多个前级管道段中的前级管道段被构造成附接在一起以便形成连续的前级管道， 所述零件套件进一步包括一个或多个另外的前级管道段，每个另外的前级管道段是基本上笔直的管子，其中，所述另外的前级管道段被构造成附接到所述前级管道段并且附接到彼此，以便形成连续的前级管道，其中，每个前级管道段和每个另外的前级管道段的竖直长度全部都等于共同值的相应整数倍。

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