株式会社荏原制作所高桥直人获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利基板支架、镀覆装置、镀覆方法以及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115997049B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180053463.2，技术领域涉及：C25D21/12；该发明授权基板支架、镀覆装置、镀覆方法以及存储介质是由高桥直人设计研发完成，并于2021-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板支架、镀覆装置、镀覆方法以及存储介质在说明书摘要公布了：本发明抑制或防止镀覆液侵入基板支架的被密封的空间，并且早期发现镀覆液侵入了的情况。一种基板支架，用于保持基板，并使基板与镀覆液接触来进行镀覆，其中，上述基板支架具备：内部空间，其在通过上述基板支架保持了上述基板的状态下，以相对于上述基板支架的外部进行了密封的状态收容上述基板的外周部；第1通路，其使上述基板支架的外部与上述内部空间连通，而向上述内部空间导入液体；以及检测器，其配置于上述内部空间，用于在向上述内部空间导入了上述液体的状态下，监视在镀覆中流入上述液体的电流或上述液体的电阻，由此检测镀覆液向上述内部空间的泄漏。
本发明授权基板支架、镀覆装置、镀覆方法以及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种基板支架，其用于保持基板，并使基板与镀覆液接触来进行镀覆， 所述基板支架的特征在于，具备： 内部空间，所述内部空间在通过所述基板支架保持了所述基板的状态下，以相对于所述基板支架的外部进行了密封的状态收容所述基板的外周部；以及 检测器，所述检测器配置于所述内部空间，用于在向所述内部空间导入了不使构成部件腐蚀的液体的状态下，监视在镀覆中流入所述液体的电流或所述液体的电阻，由此检测镀覆液向所述内部空间的泄漏。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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