布鲁尔科技公司钟幸福获国家专利权
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龙图腾网获悉布鲁尔科技公司申请的专利用于旋涂碳应用的可溶性聚酰亚胺和二酰亚胺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116018380B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180056477.X，技术领域涉及：G03F7/11；该发明授权用于旋涂碳应用的可溶性聚酰亚胺和二酰亚胺是由钟幸福;黄润辉;徐固;S·西蒙斯;D·史维娅特;J·科扎设计研发完成，并于2021-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于旋涂碳应用的可溶性聚酰亚胺和二酰亚胺在说明书摘要公布了：提供了一种高温稳定的旋涂碳"SOC"材料，其在一步薄层涂覆工艺中填补基材上的形貌特征，同时使其表面平坦化。该材料包含在溶液中而不是在晶片上进行预酰亚胺化的低分子量聚酰亚胺或二酰亚胺。该SOC层可以在苛刻的CVD条件下存活，并且耐SC1，特别是在TiN和SiOx表面。
本发明授权用于旋涂碳应用的可溶性聚酰亚胺和二酰亚胺在权利要求书中公布了：1.一种形成微电子结构的方法，所述方法包括： 任选地在基材表面上形成一个或多个中间层，如果存在一个或多个中间层，则在所述基材表面上具有最上层的中间层； 如果存在最上层的中间层，将组合物施加至所述最上层的中间层，或如果不存在中间层，将组合物施加至所述基材表面，所述组合物包含溶解或分散在溶剂体系中的二酰亚胺，所述二酰亚胺由以下化合物形成的二酰胺酸形成： i二酐和可交联单胺； ii可交联单酐和二胺；或 iiii和ii两者；以及 加热所述组合物以形成富碳层，所述富碳层在经过CVD存活性测试时具有呈现出少于0.1个缺陷cm2层表面积的特性。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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