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龙图腾网获悉上海镭望光学科技有限公司申请的专利一种光学二维精密调节机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116047699B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310057323.3，技术领域涉及：G02B7/02；该发明授权一种光学二维精密调节机构是由杨增辉;王栋;曾爱军;黄惠杰设计研发完成，并于2023-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光学二维精密调节机构在说明书摘要公布了：一种光学二维精密调节机构，包括：基座、第一方向调节组件和第二方向调节组件；第一方向调节组件沿第一方向可往复移动的设置于基座上；第二方向调节组件套设于第一方向调节组件上，并相对于第一方向调节组件且沿垂直于第一方向的第二方向往复移动；第一方向调节组件的操作面和第二方向调节组件的操作面均位于基座的同一个操作面上，以基于基座的同一个操作面对第一方向调节组件和第二方向调节组件进行操作，使得，基于基座的同一个操作面对第二方向调节组件上设置的待调节光学元件进行第一方向和第二方向的平移调节。在狭小的操作空间内通过一个操作方位对光学元件等设备进行二维平移调节，且在二维调整过程中不存在干涉现象，调节时耦合较小。

本发明授权一种光学二维精密调节机构在权利要求书中公布了：1.一种光学二维精密调节机构，用于在光刻机照明系统中通过一个操作面对待调节光学元件进行二维平移调节，其特征在于，包括：基座、第一方向调节组件和第二方向调节组件； 基座包括：支撑板、沿支撑板一邻接两边设置的固定板和操作板，固定板和操作板相互垂直； 第一方向调节组件沿第一方向可往复移动的设置于基座上； 第一方向调节组件包括：第一调节支架、第一弹性部、第一驱动部和第一调节键； 第一调节支架设置于支撑板上； 第一弹性部、第一驱动部和第一调节键配合第一调节支架设置于支撑板、固定板、操作板上，配合使第一调节支架沿第一方向往复移动，其中： 第一弹性部的一端固定设置于固定板上，另一端限位于第一调节支架的一侧面； 第一驱动部与第一弹性部相对，位于第一调节支架的另一侧面并设置于支撑板上； 第一调节键设置于操作板上并与第一驱动部连接； 第一驱动部包括连杆和凸轮； 凸轮设置于支撑板上，凸轮的边缘与第一调节支架的侧面接触； 连杆一端与凸轮连接，另一端与第一调节键连接； 第二方向调节组件套设于第一方向调节组件上，并相对于第一方向调节组件且沿垂直于第一方向的第二方向往复移动； 第二方向调节组件包括：第二调节支架、第二弹性部和第二驱动部； 第二调节支架套设于第一调节支架上，且第二调节支架相对于第一调节支架上的第一驱动部和第一弹性部的安装位置分别留有相应的空缺位，以使 第一驱动部和第一弹性部通过相应的空缺位与第一调节支架配合安装； 第二弹性部和第二驱动部配合第二调节支架设置，配合使第二调节支架沿第二方向往复移动，其中： 第二驱动部为调节螺杆，第二调节支架设有与调节螺杆匹配的螺纹孔，调节螺杆的一端设置于操作板上，另一端贯穿螺纹孔伸向第一调节支架； 第二弹性部与调节螺杆相对，固定设置于第二调节支架的侧面上，第二弹性部的另一端限位于第一调节支架的侧面上； 调节螺杆朝第一预设方向螺旋运动时，驱动第二调节支架朝向第二弹性部移动；调节螺杆朝第二预设方向螺旋运动时，第二弹性部驱动第二调节支架朝向调节螺杆移动； 第一方向调节组件的操作面和第二方向调节组件的操作面均位于基座的同一个操作面上，以基于基座的同一个操作面对第一方向调节组件和第二方向调节组件进行操作，使得，基于基座的同一个操作面对第二方向调节组件上设置的待调节光学元件进行第一方向和第二方向的平移调节。

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