北京北方华创微电子装备有限公司曹丽梦获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利物料传输控制方法、工艺腔室模块及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116072571B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310081937.5，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权物料传输控制方法、工艺腔室模块及半导体工艺设备是由曹丽梦设计研发完成，并于2023-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本物料传输控制方法、工艺腔室模块及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种物料传输控制方法、工艺腔室模块及半导体工艺设备。该方法应用于半导体工艺设备，可以随机械手的取物料动作或放物料动作进行物料信息传递。本发明实施例可以在物料的流动过程中实现物料信息传递和数据摆渡，随着机械手对物料的取放，物料承载状态信息也同步传递，能够明确物料位置，避免物料信息丢失或错乱。
本发明授权物料传输控制方法、工艺腔室模块及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种物料传输控制方法，其特征在于，应用于半导体工艺设备的工艺腔室模块，所述工艺腔室模块包括至少两个工艺位以及旋转机械手，所述旋转机械手为具有至少两个机械臂的风车机械手，所述旋转机械手用于在所述工艺位之间传输物料，所述机械臂的数量与所述工艺位的数量相同；所述方法包括： 获取各所述工艺位及各所述机械臂的物料承载状态信息，所述物料承载状态信息包括占用状态和空闲状态； 当检测到所述旋转机械手的取物料动作时，获取各个所述机械臂与各个被取物料的所述工艺位之间的对应关系，将各个所述机械臂的物料承载状态信息更新为对应的所述工艺位的物料承载状态信息，并将各个所述工艺位的物料承载状态信息设为空闲状态；或者 当检测到所述旋转机械手的放物料动作时，获取各个所述机械臂与各个被放物料的所述工艺位之间的对应关系，将各个所述工艺位的物料承载状态信息更新为对应的所述机械臂的物料承载状态信息，并将各个所述机械臂的物料承载状态信息设为空闲状态。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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