至微半导体(上海)有限公司;上海至纯洁净系统科技股份有限公司张勇获国家专利权
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龙图腾网获悉至微半导体(上海)有限公司;上海至纯洁净系统科技股份有限公司申请的专利一种用于正反面翻转的晶圆抓取装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116072593B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211737072.5，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权一种用于正反面翻转的晶圆抓取装置是由张勇;唐宝国;陈新来设计研发完成，并于2022-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于正反面翻转的晶圆抓取装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种用于正反面翻转的晶圆抓取装置，包括：第一卡爪组件，用于对晶圆进行夹持；第二卡爪组件，用于对晶圆进行夹持，第一卡爪组件和第二卡爪组件夹持晶圆的方向相反；翻转驱动组件，连接第一卡爪组件和第二卡爪组件，用于对第一卡爪组件和第二卡爪组件进行翻转。本发明的晶圆抓取装置上下两个卡爪组件都可可以抓取晶圆，通过翻转机构将晶圆放在对应的处理工位上，提高搬运效率。
本发明授权一种用于正反面翻转的晶圆抓取装置在权利要求书中公布了：1.一种用于正反面翻转的晶圆抓取装置，其特征在于，包括： 第一卡爪组件，用于对晶圆进行夹持； 第二卡爪组件，用于对晶圆进行夹持，所述第一卡爪组件和所述第二卡爪组件夹持晶圆的方向相反； 翻转驱动组件，连接所述第一卡爪组件和所述第二卡爪组件，用于对所述第一卡爪组件和所述第二卡爪组件进行翻转； 所述翻转驱动组件包括： 第一气缸； 主动齿轮，通过齿轮轴连接所述第一气缸； 从动齿轮，与所述主动齿轮啮合连接； 卡爪安装底座，所述卡爪安装底座的第一端固定在所述从动齿轮的齿轮轴上，所述卡爪安装底座的第二端安装所述第一卡爪组件和所述第二卡爪组件； 所述第一卡爪组件和所述第二卡爪组件均分别包括： 固定圆盘，固定连接在所述卡爪安装底座的第二端； 驱动圆盘，可旋转地设置在所述固定圆盘上； 多个卡爪手指； 多个卡爪臂，与所述卡爪手指一一对应，沿所述驱动圆盘的圆周方向分布设置在所述驱动圆盘上，所述卡爪臂的第一端连接所述卡爪手指； 多个连杆，与所述卡爪臂一一对应，所述连杆的第一端与对应的所述卡爪臂的第二端销轴连接，所述连杆的第二端与所述驱动圆盘销轴连接； 牵引驱动机构，通过牵引绳与其中一个所述卡爪臂的第二端、连杆的第一端共同销轴连接。
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