佳能特机株式会社神田宽获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能特机株式会社申请的专利对准装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116130395B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211367460.9，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权对准装置是由神田宽设计研发完成，并于2022-11-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本对准装置在说明书摘要公布了：本发明提供用于提高在基板与掩模的对准中的标记的检测可能性的技术。本发明涉及的对准装置具备：对准机构，其进行被成膜对象的基板与掩模的对准；检测机构，其根据通过对设置于基板的对准标记及设置于掩模的对准标记中的至少任一个进行拍摄而得到的图像数据，检测拍摄到的对准标记；以及判定机构，其对由检测机构进行的对准标记的检测进行好坏判定，检测机构对图像数据进行使用了第一方法的对准标记的检测，在基于第一方法进行的对准标记的检测由判定机构判定为不好的情况下，检测机构对图像数据进行使用了与第一方法不同的第二方法的对准标记的检测。
本发明授权对准装置在权利要求书中公布了：1.一种对准装置，其特征在于，具备： 对准机构，其进行被成膜对象的基板与掩模的对准； 检测机构，其根据通过对设置于所述基板的对准标记及设置于所述掩模的对准标记中的至少任一个进行拍摄而得到的图像数据，检测拍摄到的对准标记；以及 判定机构，其对由所述检测机构进行的所述对准标记的检测进行好坏判定， 所述检测机构对所述图像数据进行使用了模板匹配的所述对准标记的检测，输出所述对准标记与模板的相似度，在所述相似度为规定的阈值以下而基于所述模板匹配进行的所述对准标记的检测由所述判定机构判定为不好的情况下，所述检测机构对所述图像数据进行使用了基于形状的匹配的所述对准标记的检测。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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