合肥领航微系统集成有限公司刘东旭获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥领航微系统集成有限公司申请的专利一种双面压电层的微机械结构及其加工工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116132896B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211488960.8，技术领域涉及：H04R17/00；该发明授权一种双面压电层的微机械结构及其加工工艺是由刘东旭;徐涛设计研发完成，并于2022-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种双面压电层的微机械结构及其加工工艺在说明书摘要公布了：本发明提供一种双面压电层的微机械结构及其加工工艺，所述微机械结构包括：具有第一振膜的结构层；具有第三金属层和第四金属层的第二振膜，设置于所述结构层上远离所述第一振膜的一侧；以及具有第五金属层和第六金属层的基底，设置于所述第二振膜上，且所述第五金属层与所述第四金属层键合，所述第六金属层与所述第三金属层键合。本发明提供一种双面压电层的微机械结构及其加工工艺，该微机械结构及其加工工艺可以解决双面压电层的微机械结构与基底键合的一面引线困难的问题，并且提高了该微机械结构的性能。
本发明授权一种双面压电层的微机械结构及其加工工艺在权利要求书中公布了：1.一种双面压电层的微机械结构，其特征在于，所述微机械结构包括： 具有第一振膜的结构层； 具有第三金属层和第四金属层的第二振膜，设置于所述结构层上远离所述第一振膜的一侧；以及 具有第五金属层和第六金属层的基底，设置于所述第二振膜上，且所述第五金属层与所述第四金属层键合，所述第六金属层与所述第三金属层键合； 所述基底上还设置有凸台，所述凸台上与所述第三金属层的键合面上用于生长所述第六金属层； 其中，所述第一振膜包括： 第一金属层，设置于所述结构层的一侧； 第一压电层，设置于所述第一金属层上远离所述结构层的一侧；以及 第二金属层，设置于所述第一压电层上远离所述第一金属层的一侧； 所述第二振膜还包括第二压电层，所述第二压电层设置于所述第三金属层和所述第四金属层之间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥领航微系统集成有限公司，其通讯地址为：230000 安徽省合肥市高新区孔雀台路2899号联东U谷·合肥高新国际企业港18-101号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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