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龙图腾网获悉中国科学院物理研究所申请的专利用于液相法生长碳化硅晶体的装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116180209B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211636514.7，技术领域涉及：C30B11/00；该发明授权用于液相法生长碳化硅晶体的装置及方法是由陈小龙;盛达;王国宾;王文军;郭建刚;李辉设计研发完成，并于2022-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于液相法生长碳化硅晶体的装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种用于液相法生长碳化硅晶体的装置。籽晶杆下端螺纹与籽晶托内部螺纹旋向相同，为右旋或左旋螺纹。锁紧螺母内部螺纹与籽晶托外部螺纹旋向相同，为左旋或右旋螺纹。锁紧螺母内部螺纹与籽晶杆下端螺纹旋向相反。如此，本发明的装置可以实现自锁功能。本发明还提供一种制备碳化硅晶体的方法，其使用本发明的用于液相法生长碳化硅晶体的装置。本发明的装置可以方便和可靠的实现籽晶托高速正反转，在熔体中引入强制对流，促进熔体成分均匀并加速溶质传输，提升液相法生长碳化硅晶体的质量和速度。本发明的方法制得碳化硅晶体的质量优异。

本发明授权用于液相法生长碳化硅晶体的装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于液相法生长碳化硅晶体的装置，其包括：籽晶杆、籽晶托和锁紧螺母； 所述籽晶杆延其轴向包括圆柱形的第一部段、第二部段和第三部段，其中第二部段的直径大于第一部段的直径且大于第三部段的直径以形成位于籽晶杆上的凸台；所述第三部段上设有外螺纹； 所述籽晶托包括基板和沿基板一侧方向上周向延伸的第一圆筒部段；所述第一圆筒部段上设有内螺纹和外螺纹； 所述锁紧螺母延其周向包括第二圆筒部段和第三圆筒部段，所述第二圆筒部段的内径小于第三圆筒部段的内径；所述第三圆筒部段上设有内螺纹； 所述第二部段的直径大于所述第二圆筒部段的内径且小于等于所述第三圆筒部段的内径； 所述第三部段上的外螺纹与第一圆筒部段上的内螺纹旋向相同，使得所述籽晶杆的第三部段与所述籽晶托的第一圆筒部段能够螺纹连接；所述第一圆筒部段上的外螺纹与所述第三圆筒部段上的内螺纹旋向相同，使得所述锁紧螺母的第三圆筒部段与所述籽晶托的第一圆筒部段能够螺纹连接并且连接后使得所述第二圆筒部段压靠在所述凸台上；并且所述第三部段上的外螺纹与所述第三圆筒部段上的内螺纹旋向相反； 所述籽晶杆的第三部段的轴向长度比所述籽晶托的第一圆筒部段的轴向长度大1～4mm，使得所述籽晶杆的第三部段与所述籽晶托的第一圆筒部段螺纹连接后，所述凸台与所述籽晶托的第一圆筒部段之间存在1～4mm的间隔距离； 所述锁紧螺母的第三圆筒部段的轴向长度小于所述籽晶杆的第二部段和第三部段的轴向长度之和，使得所述锁紧螺母的第三圆筒部段与所述籽晶托的第一圆筒部段螺纹连接后，所述锁紧螺母的第三圆筒部段与所述籽晶托的基板之间存在1～4mm的间隔距离，以此保证所述锁紧螺母旋紧后与凸台紧密贴合； 所述籽晶托的第一圆筒部段靠近所述基板的一侧设有退刀槽，以保证所述籽晶杆与所述籽晶托旋紧后，所述籽晶杆的第三部段能与所述籽晶托的螺纹孔底紧密贴合。

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