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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体处理设备的调度方法和装置、半导体处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116190277B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310207514.3，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权半导体处理设备的调度方法和装置、半导体处理设备是由陈浩;梁妍;钟结实设计研发完成，并于2023-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体处理设备的调度方法和装置、半导体处理设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种半导体处理设备的调度方法和装置、半导体处理设备，其中调度方法包括：S130，判断装载台当前是否存在晶圆盒，且第一机械手是否承载有当前在所述装载台的晶圆盒中的晶圆，若是，则执行步骤S140，若否，则执行步骤S150；S140，计算承载于所述第一机械手上的晶圆的晶圆移动序列，将当前计算得到的所述晶圆移动序列存储至移动控制序列，并执行所述步骤S150；S150，判断当前的所述移动控制序列中所有晶圆盒和所有晶圆是否均达到终点，若是，则完成调度，若否，则进入循环遍历流程。本申请能够提高对应机台的传输效率。

本发明授权半导体处理设备的调度方法和装置、半导体处理设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体处理设备的调度方法，其特征在于，所述调度方法包括： S130，判断装载台当前是否存在晶圆盒，且第一机械手是否承载有当前在所述装载台的所述晶圆盒中的晶圆，若所述装载台当前存在所述晶圆盒，且所述第一机械手承载有当前在所述装载台的所述晶圆盒中的晶圆，则执行步骤S140，若所述装载台当前不存在所述晶圆盒或者所述第一机械手未承载当前在所述装载台的所述晶圆盒中的晶圆，则执行步骤S150； S140，计算承载于所述第一机械手上的晶圆的晶圆移动序列，将当前计算得到的所述晶圆移动序列存储至移动控制序列，并执行所述步骤S150；所述晶圆移动序列用于记录对应晶圆的传输路径；所述移动控制序列用于调度晶圆和或晶圆盒； S150，判断当前的所述移动控制序列中所有晶圆盒和所有晶圆是否均达到终点，若是，则完成调度，若否，则进入循环遍历流程；所述循环遍历流程包括依次对晶圆盒变量中的第一任务、所述晶圆盒变量中的第二任务和晶圆变量中的第一任务进行循环遍历，以在各次遍历过程中将需要最先移动的晶圆盒对应的晶圆盒移动序列或晶圆对应的晶圆移动序列更新至所述移动控制序列，按照当前的所述移动控制序列调度晶圆和或晶圆盒，并继续执行所述步骤S150；所述晶圆盒变量用于记录参与调度计算的晶圆盒参数；所述晶圆变量用于记录参与调度计算的晶圆参数；所述第一任务包括在所述装载台的晶圆盒与半导体设备内的工艺腔室之间传输晶圆的任务和将晶圆盒从存片架中的晶圆盒缓存台移动至所述装载台的任务；所述第二任务是指所述半导体处理设备内除所述第一任务中的晶圆盒传输任务以外的其他晶圆盒传输任务；所述晶圆盒移动序列用于记录对应晶圆盒的传输路径。

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