北京北方华创微电子装备有限公司王立卡获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利尾气排放装置及半导体热处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116190279B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310269649.2，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权尾气排放装置及半导体热处理设备是由王立卡;石磊;光耀华设计研发完成，并于2023-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本尾气排放装置及半导体热处理设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种尾气排放装置及半导体热处理设备，涉及半导体技术领域。该尾气排放装置包括排放气路、氧气检测气路和吹扫气路，其中，排放气路用于排放尾气；氧气检测气路并联连通于排放气路，氧气检测气路的进气端连通于排放气路的第一位置、出气端连通于排放气路的第二位置，且第二位置位于第一位置的下游；吹扫气路的出气端连通于氧气检测气路中进气气路的入口段。该半导体热处理设备包括反应腔室和上述尾气排放装置，尾气排放装置与反应腔室连接。该尾气排放装置能够严格控制反应腔室内的氧含量，并确保氧气检测气路的正常使用，从而确保半导体热处理设备对晶圆的退火效果及加工品质。
本发明授权尾气排放装置及半导体热处理设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体热处理设备的尾气排放装置，其特征在于，包括： 排放气路100，用于排放尾气； 氧气检测气路200，并联连通于所述排放气路100，其中，所述氧气检测气路200中进气气路的入口段211的进气端连通于所述排放气路100的第一位置13，所述入口段211的进气端的端口朝向与所述排放气路100于所述第一位置13处的流向一致；所述氧气检测气路200的出气端连通于所述排放气路100的第二位置14，且所述第二位置14位于所述第一位置13的下游；以及， 吹扫气路300，所述吹扫气路300的出气端连通于所述入口段211。
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