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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板搬送装置和基板搬送方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116190299B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211456600.X，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权基板搬送装置和基板搬送方法是由新藤健弘;李东伟;蒋凌欣;冈野真也;兒玉俊昭;松本航设计研发完成，并于2022-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板搬送装置和基板搬送方法在说明书摘要公布了：本公开提供一种基板搬送装置和基板搬送方法，在使用基板搬送模块进行基板以外的搬送物的搬送的情况下也能够进行准确的动作控制。基板搬送装置的控制部调节设置于基板搬送室的底面部的第一磁体的磁力，通过具备第二磁体的基板搬送模块来进行基板的搬送，参数存储部存储用于表现施加于控制用模型的工作力与运动之间的关系的模型参数，所述控制用模型是将搬送物与基板搬送模块一体地表现的模型，控制时间表制作部使用与搬送物对应的模型参数以及规定了基板搬送模块的运动的动作时间表，输出规定了用于使基板搬送模块动作的工作力的控制时间表。磁力调节部执行前馈控制，在该前馈控制中，调节所述第一磁体的磁力，以施加基于控制时间表的所述工作力。

本发明授权基板搬送装置和基板搬送方法在权利要求书中公布了：1.一种基板搬送装置，进行针对基板处理室的基板的搬送，所述基板搬送装置具备： 基板搬送室，其具有底面部和侧壁部，所述底面部设置有可调节磁力的第一磁体，所述侧壁部与所述基板处理室连接，在所述侧壁部形成有用于与该基板处理室之间进行所述基板的搬入和搬出的开口部； 基板搬送模块，其具备保持部和第二磁体，所述保持部构成为能够分别保持多种搬送物，所述多种搬送物是所述基板、或者在所述基板搬送室或所述基板处理室中使用的设备，在所述第二磁体与所述第一磁体之间作用有排斥力，所述基板搬送模块构成为通过利用了所述排斥力的磁悬浮而能够在所述基板搬送室内移动；以及 控制部，其通过调节所述第一磁体的磁力来改变所述排斥力，由此使用前馈控制来控制用于使所述基板搬送模块进行动作的工作力， 其中，所述控制部具备： 参数存储部，其将用于表现施加于控制用模型的工作力与所述控制用模型的运动之间的关系的至少一个模型参数以与所述多种搬送物的各种搬送物建立对应的方式存储，所述控制用模型是将所述搬送物与所述基板搬送模块一体地表现的模型； 控制时间表制作部，其获取用于确定所述搬送物的确定信息和沿时间轴规定了所述基板搬送模块的运动的动作时间表，使用所述参数存储部中存储的与所述确定信息对应的所述控制用模型的所述模型参数来求出在使保持有与所述确定信息对应的所述搬送物的所述基板搬送模块基于所述动作时间表进行动作的情况下应施加的所述工作力，并作为沿所述时间轴规定了所述工作力的控制时间表进行输出；以及 磁力调节部，其调节所述第一磁体的磁力，以对搬送与所述确定信息对应的所述搬送物的所述基板搬送模块施加基于所述控制时间表的所述工作力，由此执行所述前馈控制， 所述基板搬送模块构成为多个所述基板搬送模块协作地搬送共同的所述搬送物， 所述磁力调节部将一个所述基板搬送模块设为主机并对所述主机执行所述前馈控制，将其余的所述基板搬送模块设为从机并针对所述从机调节所述第一磁体的磁力，以对所述从机施加追随所述主机地进行动作的所述工作力。

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