天通银厦新材料有限公司刘德贵获国家专利权
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龙图腾网获悉天通银厦新材料有限公司申请的专利一种宝石衬底片非接触式厚度检测系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116202462B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211704345.6,技术领域涉及:G01B21/08;该发明授权一种宝石衬底片非接触式厚度检测系统是由刘德贵;滕斌;林大舜;马树锋;杨佑恩设计研发完成,并于2022-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种宝石衬底片非接触式厚度检测系统在说明书摘要公布了:本发明涉及厚度检测技术领域,尤其是一种宝石衬底片非接触式厚度检测系统,包括上料台车件、安装架、上料机构、下料机构、检测机构和下料台车件;上料台车件和下料台车件分别安装在安装架的两端,上料机构固定安装在安装架的一端、以将陶瓷盘导入上料机构内;下料机构固定安装在安装架的另一端、以将陶瓷盘导出;检测机构固定安装在安装架的中部。本发明做到了五点位测量,能够满足英寸晶片的工艺测量精度,填补了行业空白。
本发明授权一种宝石衬底片非接触式厚度检测系统在权利要求书中公布了:1.一种宝石衬底片非接触式厚度检测系统,其特征在于,包括上料台车件1、安装架2、上料机构3、下料机构4、检测机构5和下料台车件6;所述上料台车件1和下料台车件6分别安装在安装架2的两端,所述上料机构3固定安装在安装架2的一端、以将陶瓷盘17导入上料机构3内;所述下料机构4固定安装在安装架2的另一端、以将陶瓷盘17导出;所述检测机构5固定安装在安装架2的中部; 所述上料机构3包括导向架31、第一丝杆32、第一滑块33、两个导向杆34和第一电机35;所述导向架31固定安装在安装架2的顶部,所述第一丝杆32转动安装在导向架31的内侧,两个所述导向杆34均固定安装在导向架31的内侧、且与第一丝杆32平行设置,所述第一滑块33螺纹安装在第一丝杆32上,所述第一滑块33的两端分别与两个导向杆34滑动连接,所述第一电机35固定安装在安装架2的顶部、且输出轴与第一丝杆32固定连接; 所述上料机构3包括安装板36、第一输送带37和取料组件38;所述安装板36固定安装在第一滑块33的一端,所述第一输送带37固定安装在安装板36的上,所述取料组件38安装在安装板36的中部; 所述取料组件38包括第一安装座381、第一滑轨382、第二滑块383、第二丝杆384、托板385、第二电机386、第一齿轮387和第二齿轮388;所述第一安装座381固定安装在安装板36的顶部,所述第一滑轨382固定安装在第一安装座381的内侧,所述第二丝杆384转动安装在第一安装座381的内侧、且与第一滑轨382平行设置,所述第二滑块383的底端与第一滑轨382滑动连接,所述第二滑块383的顶端与第二丝杆384螺纹连接,所述托板385固定安装在第二滑块383的顶部,所述第二电机386固定安装在第一安装座381的内侧,所述第一齿轮387固定安装在第二电机386的输出轴上,所述第二齿轮388固定安装在第二丝杆384的端部、且与第一齿轮387啮合。
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