视睿(杭州)信息科技有限公司别晓辉获国家专利权
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龙图腾网获悉视睿(杭州)信息科技有限公司申请的专利晶圆检测设备、检测方法、系统及可读存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116223519B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211582980.1，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权晶圆检测设备、检测方法、系统及可读存储介质是由别晓辉;王明望;别伟成;单书畅设计研发完成，并于2022-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆检测设备、检测方法、系统及可读存储介质在说明书摘要公布了：本发明公开的一种晶圆检测设备、检测方法、系统及可读存储介质，其中检测设备包括：物料载台，用于承载吸附待测晶圆；光机检测装置，位于所述物料载台的上方，用于采集待测晶圆的晶圆图像，包括相机，光源，激光器，筒镜以及物镜；主机，与所述光机检测装置通信连接，用于处理所述光机检测装置采集到的晶圆图像；运动轴，与物料载台固定连接，用于带动物料载台运动；承载平台，所述运动轴与所述承载平台滑动连接，用于限定所述运动轴在承载平台上进行运动。本发明利用晶圆检测设备实时聚焦解决了运动到不同位置成像模糊的问题，改善了采集图像质量，检测准确性得以提升；收集不良训练AI模型利用机器作业代替人工作业，解决了人工对缺陷复判和分类问题。
本发明授权晶圆检测设备、检测方法、系统及可读存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤： 获取待测晶圆上的每个晶粒的定位以及拼接图像； 基于特征点匹配模板拼接待测晶圆上的每个晶粒得到晶圆完整图像； 基于差分模板在所述待测晶圆上识别2N个标准晶粒图像，并基于所述2N个标准晶粒图像构建适用于所述待测晶圆的自适应差分模板； 基于所述自适应差分模板获取所述待测晶圆上所有的缺陷区域信息； 基于所述缺陷区域信息结合预设的卡控标准进行筛选，以过滤掉未达到所述卡控标准的缺陷区域； 将筛选后的所述缺陷区域信息输入到训练好的AI分类模型进行分类，以得到晶圆检测结果。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人视睿(杭州)信息科技有限公司，其通讯地址为：310000 浙江省杭州市余杭区余杭街道文一西路1818-2号5幢313室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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