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龙图腾网获悉南通大学申请的专利用于脉冲喷雾式制造湿度传感器芯片的装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116223571B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111458343.9，技术领域涉及：G01N27/04；该发明授权用于脉冲喷雾式制造湿度传感器芯片的装置是由宋长青;王志亮;刘岩;豆飞娟;尹海宏;邵海宝;王敬时设计研发完成，并于2021-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于脉冲喷雾式制造湿度传感器芯片的装置在说明书摘要公布了：一种用于脉冲喷雾式制造湿度传感器芯片的装置，包括用于容置矩形衬底的腔体，腔体内部相对设置有第一雾化喷嘴和第二雾化喷嘴；第一雾化喷嘴和第二雾化喷嘴分别用于交替脉冲式雾化喷射第一湿度敏感材料和第二湿度敏感材料；第一湿度敏感材料和第二湿度敏感材料的电阻率敏感依赖于环境湿度；第一雾化喷嘴用于向矩形衬底脉冲式雾化喷射第一湿度敏感材料，衬底上沉积的第一湿度敏感材料的分布密度逐渐降低；第二雾化喷嘴用于向矩形衬底脉冲式雾化喷射第二湿度敏感材料，衬底上沉积的第二湿度敏感材料的分布密度逐渐降低。第一雾化喷嘴、第二雾化喷嘴、第一射流式雾化器、第二射流式雾化器均为固定设置，避免了制造装置容易疲劳损坏的问题。

本发明授权用于脉冲喷雾式制造湿度传感器芯片的装置在权利要求书中公布了：1.一种用于脉冲喷雾式制造湿度传感器芯片的装置，所述湿度传感器芯片包括矩形衬底18，所述矩形衬底18具有相对设置的第一边缘和第二边缘； 其特征在于： 所述用于脉冲喷雾式制造湿度传感器芯片的装置，包括用于容置矩形衬底18的腔体、第一射流式雾化器、第二射流式雾化器； 所述腔体内部相对设置有第一雾化喷嘴15和第二雾化喷嘴16；第一雾化喷嘴15和第二雾化喷嘴16分别位于矩形衬底18的第一边缘正上方和第二边缘正上方；第一雾化喷嘴15和第二雾化喷嘴16分别用于交替脉冲式雾化喷射第一湿度敏感材料和第二湿度敏感材料；第一湿度敏感材料和第二湿度敏感材料的电阻率敏感依赖于环境湿度； 第一雾化喷嘴15用于向矩形衬底18脉冲式雾化喷射第一湿度敏感材料，雾化喷射出的含有第一湿度敏感材料的气雾存在浓度梯度，使得在远离第一雾化喷嘴15的方向上，衬底上沉积的第一湿度敏感材料的分布密度逐渐降低； 第二雾化喷嘴16用于向矩形衬底18脉冲式雾化喷射第二湿度敏感材料，雾化喷射出的含有第二湿度敏感材料的气雾存在浓度梯度，使得在远离第二雾化喷嘴16的方向上，衬底上沉积的第二湿度敏感材料的分布密度逐渐降低； 第一湿度敏感材料、第二湿度敏感材料各自敏感响应于不同的湿度变化范围； 所述腔体包括顶板4、底多孔滤网5、筒体19构成，下多孔滤网用于固定放置衬底；所述筒体19的壁内设置有加热器10和热电偶11，加热器10和热电偶11电连接至温度控制器20，用于控制腔体内的温度；所述筒体19的左右两侧壁分别对称设置有第一雾化管路12和第二雾化管路13，第一雾化管路12和第二雾化管路13的一端分别设置有第一雾化喷嘴15和第二雾化喷嘴16； 第一雾化喷嘴15从所述矩形衬底18的第一边缘的上方，斜向下指向矩形衬底18的第二边缘；第二雾化喷嘴16从所述矩形衬底18的第二边缘的上方，斜向下指向矩形衬底18的第一边缘； 所述底多孔滤网5与所述筒体19的底端之间对称设置有两个用于固定放置矩形衬底18的夹持装置17，矩形衬底18贴附于底多孔滤网5上，所述夹持装置17将矩形衬底18夹紧并使其处于平展状态。

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