大连理工大学赵文卓获国家专利权
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龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利一种基于紫外光波段的氟化TiO2气体传感器及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116242898B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310259554.2，技术领域涉及：G01N27/407；该发明授权一种基于紫外光波段的氟化TiO2气体传感器及制备方法是由赵文卓;黄宝玉;张向朋;李晓干;李新雷设计研发完成，并于2023-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于紫外光波段的氟化TiO2气体传感器及制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于电子元器件技术领域，提供了一种基于紫外光波段的氟化TiO2气体传感器及制备方法。该氟化TiO2气体传感器包括气敏材料和叉指电极板，气敏材料涂覆在叉指电极板表面述气敏材料成分为氟化二氧化钛空心微球材料。本方法生产工艺简单，所得气敏材料具有对甲醛表现出较高的灵敏度和快速的响应、恢复，可用于甲醛气体传感器领域，同现有的传统加热式的气体传感器阵列技术相比，本发明可以使传感器在室温工作，减少敏感材料的老化问题，提高传感器的稳定性从而获得高灵敏度的新型气敏材料。
本发明授权一种基于紫外光波段的氟化TiO2气体传感器及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于紫外光波段的氟化TiO2气体传感器，其特征在于，该氟化TiO2气体传感器主要由紫外光光源、气敏材料以及叉指电极板组成，所述气敏材料涂覆在所述叉指电极板表面，涂覆厚度为1μm~100μm；所述气敏材料成分为氟化二氧化钛空心微球材料； 所述氟化二氧化钛空心微球材料是通过水浴法并使用氢氟酸对二氧化钛进行氟化和刻蚀得到的；所述氟化二氧化钛空心微球的尺寸为10μm~30μm； 基于紫外光波段的氟化TiO2气体传感器的工作温度为室温，实现材料与硅基微电子相集成。
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